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아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015204981
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법에 관한 것으로, 상기 제조방법은 다구찌법을 이용하여 최적의 접착 강도를 갖는 TiAlN 필름을 제조할 수 있는 조절인자들의 수치를 규명함으로써 종래 필름에 비해 접착 강도가 탁월하게 개선된 TiAlN 필름을 제공할 수 있으며, 이를 다양한 산업분야에서 활용할 수 있다.
Int. CL C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01)
출원번호/일자 1020100051254 (2010.05.31)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0131686 (2011.12.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조동율 대한민국 경상남도 창원시
2 주윤곤 대한민국 경상남도 창원시 마산회원구
3 윤재홍 대한민국 경상남도 창원시 의창구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2010-0350222-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0041334-65
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2011-5171493-09
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2011-5180260-89
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252038-71
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5259858-01
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0141232-57
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0369199-71
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.06.11 무효 (Invalidation) 1-1-2012-0463026-75
11 보정요구서
Request for Amendment
2012.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0075876-04
12 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2012.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0087893-06
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0502096-56
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.10.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5131005-95
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5044733-20
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5082716-34
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013675-99
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5013674-43
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5096974-14
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2016-5164273-80
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5229792-25
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073723-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법에 있어서, 기판 온도, 아크 전류, 바이어스 전압, 작업 압력, 전처리 압력 및 전처리 시간으로 이루어진 군에서 선택된 조절인자를 변경하여 TiAlN 필름의 접착 강도를 개선하는 것을 특징으로 하는 아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 조절인자는 따구치법(Taguchi Method)에 따라 결정하는 것을 특징으로 하는 아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 기판 온도 200 내지 250 ℃, 아크 전류 55 내지 65 A, 바이어스 전압 -750 내지 -800 V, 작업 압력 1×10-2 내지 8×10-2 torr, 전처리 전압 -430 내지 -470 V 및 전처리 시간 14 내지 16분의 조건 하에서 TiAlN 필름을 제조하는 것을 특징으로 하는 아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법
4 4
청구항 3에 있어서, 기판 온도 220℃, 아크 전류 60A, 바이어스 전압 -800V, 작업 압력 10-2 torr, 전처리 전압 -450V 및 전처리 시간 15분의 조건 하에서 TiAlN 필름을 제조하는 것을 특징으로 하는 아크 이온 플레이팅법을 이용한 TiAlN 필름의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 창원대학교 클러스터 사업단 지방기술혁신사업 고속.고정밀 지식기반기계 부품.소재의 성능,신뢰성 평가 인프라 구축