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내부 중심점을 기준으로 제 1 내지 제 3 축이 영문자 와이(Y) 형상으로 구비되며 내부에는 동일한 와이 형상의 중공이 형성된 와이형 탄성체; 및상기 제 1 내지 제 3 축의 상면과 하면에 각각 부착되는 압전소자;를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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제 1항에 있어서,상기 와이형 탄성체는 얇은 박막 형상인 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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제 1항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 축 각각은, 2개의 진동부; 및상기 진동부 사이에 위치하는 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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제 3항에 있어서,상기 각 축의 2개의 진동부는 제 1 진동부와 제 2 진동부로 구분되며, 제 1 진동부 상하에 부착된 압전소자의 분극방향과 제 2 진동부 상하에 부착된 압전소자의 분극방향이 반대인 것인 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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제 1항에 있어서,상기 압전소자는 길이방향으로 긴 얇은 박막 형상인 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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제 1항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 축에 있어 각 축 사이의 각도가 120°인 것을 특징으로 하는 와이형 진동자
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내부 중심점을 기준으로 제 1 내지 제 3 축이 영문자 와이(Y) 형상으로 구비되며 내부에는 동일한 와이 형상의 중공이 형성된 와이형 탄성체에 상기 제 1 내지 제 3 축의 상면과 하면에 각각 부착되는 압전소자를 포함하는 와이형 진동자; 및상기 와이형 진동자 내부에 형성된 중공 중심부에 위치하며 상기 와이형 진동자와의 접촉에 의한 마찰력으로 회전하는 회전자를 포함하는 초음파모터
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제 7항에 있어서,상기 와이형 진동자와 상기 회전자 사이의 접촉점이 3개인 것을 특징으로 하는 초음파모터
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제 7항에 있어서,상기 각 압전소자에는 120°위상차를 갖는 3상 교류 전원을 인가하고, 상기 3상 교류 전원 중 두상의 위상을 바꾸어 회전자의 회전방향을 바꾸는 것을 특징으로 하는 초음파모터
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10
제 8항에 있어서,상기 3개의 접촉점이 3상 교류 전원 인가시 순차적으로 타원형의 변위를 생성하는 것을 특징으로 하는 초음파모터
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