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제1 탄성판;
상기 제1 탄성판에 부착되고, 전기 신호에 따라서 상기 제1 탄성판을 소정 진동 방향으로 진동 시키는 제1 진동판;
상기 진동 방향에 수직인 방향으로 상기 제1 탄성판과 연결되는 제2 탄성판;
상기 제2 탄성판에 부착되고, 상기 전기 신호에 따라서 상기 진동에 부가하여 상기 제2 진동판을 상기 진동 방향으로 진동시키는 제2 진동판
을 포함하는 액츄에이터
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2
제1항에 있어서,
상기 제1 진동판을 상기 진동 방향으로 견인하는 견인부;
를 더 포함하는 액츄에이터
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3
제2항에 있어서,
상기 견인부는 자력을 이용하여 상기 제1 진동판을 견인하는 액츄에이터
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4
제1항에 있어서,
상기 진동을 이용하여 초음파를 생성하는 초음파 생성판
을 더 포함하는 액츄에이터
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5
제1항에 있어서,
상기 진동에 수직인 방향으로 상기 제2 탄성판과 연결되고, 상기 제1 탄성판 및 상기 제2 탄성판과 동일한 평면에 위치하는 제3 탄성판;
상기 제3 탄성판에 부착되고, 상기 전기 신호에 따라서 상기 진동에 부가하여 상기 제3 탄성판을 상기 진동 방향으로 진동시키는 제3 진동판
을 포함하는 액츄에이터
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6
제1항에 있어서,
상기 제1 진동판 및 상기 제2 진동판은 피에조 세라믹으로 구성된 액츄에이터
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7
전기 신호에 따라서 제1 탄성판을 소정 진동 방향으로 진동 시키는 단계;
상기 진동 방향에 수직인 방향으로 상기 제1 탄성판과 연결되는 제2 탄성판을 상기 전기 신호에 따라서 상기 진동에 부가하여 상기 진동 방향으로 진동시키는 단계
를 포함하는 액츄에이터 동작 방법
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8
제7항에 있어서,
상기 제1 진동판을 상기 진동 방향으로 견인하는 단계
를 포함하는 액츄에이터 동작 방법
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9
제8항에 있어서,
상기 견인하는 단계는 자력을 이용하여 상기 제1 진동판을 견인하는 액츄에이터 동작 방법
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10
제7항 내지 제9항 중에서 어느 하나의 항의 방법을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
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