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누설 램파를 이용하는 초음파 세정 방법 및 이를 이용한 세정 장치

  • 기술번호 : KST2015205182
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 누설 램파를 이용한 초음파 세정 방법 및 장치에 관한 것으로, 상기 방법은 세정액 속에 담겨 있는 세정 대상물의 표면에 위치한 오염물질을 제거하기 위하여, 램파를 세정 대상물에 인가하여, 세정 대상물의 표면에 누설 램파를 발생시켜 대상물을 세정하는 것을 특징으로 한다. 상기 장치는 램파를 발생시키는 램파 발생원과, 얇은 판상의 세정 대상물이 수직 또는 경사 기립 거치되고, 상기 램파 발생원으로부터 발생된 램파를 상기 세정 대상물로 직접 전달하는 세정 대상물 거치 유닛과, 상기 세정 대상물이 세정액에 잠겨지도록 세정액을 저장하는 카세트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020100049060 (2010.05.26)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1090112-0000 (2011.11.30)
공개번호/일자 10-2011-0129591 (2011.12.02) 문서열기
공고번호/일자 (20111207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김노유 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나동규 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0336713-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2011-5038188-46
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0381986-81
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0685178-12
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0685205-57
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0699711-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
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번호 청구항
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램파를 발생시키는 램파 발생원과; 세정 대상물이 거치되고, 상기 램파 발생원으로부터 발생된 램파를 상기 세정 대상물로 전달하는 세정 대상물 거치 유닛과;상기 세정 대상물 거치 유닛 및 상기 세정 대상물이 세정액에 잠겨지도록 세정액을 저장하는 수조를 포함하는, 누설 램파를 이용한 초음파 세정 장치
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램파를 발생시키는 램파 발생원과;세정 대성물이 거치되고, 상기 램파 발생원으로부터 발생된 램파를 상기 세정 대상물로 전달하는 세정 대상물 거치 유닛과;상기 세정 대상물의 표면에 세정액을 분사하는 세정액 분사기와;상기 세정 대상물 거치 유닛 및 상기 세정액 분사기를 내장하는 수조를 포함하는, 누설 램파를 이용한 초음파 세정 장치
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제7항 또는 제8항에 있어서,상기 세정 대상물 거치 유닛은 상기 세정 대상물이 수직 또는 경사 기립 배치되는 세정 대상물 배치 홀더와,상기 배치 홀더에 연결되고, 상기 램파 발생원으로부터 발생된 램파를 상기 세정 대상물로 직접 전달하는 램파 트랜스미터를 포함하는 것을 특징으로 하는, 누설 램파를 이용한 초음파 세정 장치
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제9항에 있어서,상기 세정 대상물은 상기 배치 홀더에 면접촉하는 것을 특징으로 하는, 누설 램파를 이용한 초음파 세정 장치
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제7항 또는 제8항에 있어서,상기 세정 대상물은 반도체 웨이퍼나 LCD 패널인, 누설 램파를 이용한 초음파 세정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.