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반도체 장비의 장애요인들을 감지하는 복수 개의 센서들을 구비한 센서노드로부터 각각의 센싱값을 수신하는 단계;상기 센서들의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는지 모니터링하는 단계;상기 센서들 중 특정 단일 센서의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는 경우, 상기 특정 단일 센서에 대한 장애를 분석하여 그에 대응되는 알람을 생성하는 단계;상기 특정 단일 센서의 장애가 감지된 상태에서, 상기 센서들 중 다른 단일 센서의 센싱값을 설정된 대기시간 동안 모니터링하는 단계; 및상기 다른 단일 센서의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는 경우, 상기 특정 단일 센서와 상기 다른 단일 센서에 의한 복합 장애를 분석하여 그에 대응되는 알람을 생성하는 단계를 포함하고,상기 다른 단일 센서의 센싱값을 모니터링하는 단계는,상기 센싱값이 정상범위에 해당되는 센서들의 개수가 증가할수록, 상기 대기시간이 감소되도록 조절하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 복수 개의 센서들은,온도센서, 진동센서, 압력센서, 가스센서 중 선택된 복수 개의 센서를 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,해당 임계범위를 벗어난, 상기 특정 단일 센서 또는 상기 다른 단일 센서의 센싱값을 저장하는 단계를 더 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 센서에서 감지된 각각의 센싱값을 해당 임계범위와 비교한 결과를 이미지, 그래프 또는 텍스트 중 적어도 하나의 형태로 표시하는 단계를 더 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 방법
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반도체 장비의 장애요인들을 실시간 감지하는 복수 개의 센서들로부터 각각의 센싱값을 수신하는 수신부;상기 센서들의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는지 모니터링하는 제1모니터부;상기 모니터링 결과, 상기 센서들 중 특정 단일 센서의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는 경우, 상기 특정 단일 센서에 대한 장애를 분석하여 그에 대응되는 알람을 생성하는 제1알람부;상기 특정 단일 센서의 장애가 감지된 상태에서, 상기 센서들 중 다른 단일 센서의 센싱값을 설정된 대기시간 동안 모니터링하는 제2모니터부; 및상기 다른 단일 센서의 센싱값이 해당 임계범위를 벗어나는 경우, 상기 특정 단일 센서와 상기 다른 단일 센서에 의한 복합 장애를 분석하여 그에 대응되는 알람을 생성하는 제2알람부를 포함하고,상기 제2모니터부는, 상기 센싱값이 정상범위에 해당되는 센서들의 개수가 증가할수록, 상기 대기시간이 감소되도록 조절하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 시스템
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청구항 6에 있어서, 상기 복수 개의 센서들은,온도센서, 진동센서, 압력센서, 가스센서센서된 복수 개의 센서를 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 시스템
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,해당 임계범위를 벗어난, 상기 특정 단일 센서 또는 상기 다른 단일 센서의 센싱값을 저장하는 저장부를 더 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 시스템
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청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,상기 센서에서 감지된 각각의 센싱값을 해당 임계범위와 비교한 결과를 이미지, 그래프 또는 텍스트 중 적어도 하나의 형태로 표시하는 표시부를 더 포함하는 반도체 장비의 상태감시를 위한 복합 상황인지 시스템
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