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능동 방진 장치로서,낮은 1차 고유 진동수를 갖는 방진재; 상기 방진재보다 높은 강성을 갖고 변위 제어가 가능한 액추에이터; 및 수동형 탄성부재를 포함하며,상기 방진재, 액추에이터 및 수동형 탄성부재는 서로 직렬로 연결되는능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 방진재는 수동형, 반능동형 및 능동형 중의 어느 하나의 방식인 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 수동형 탄성부재의 강성은 상기 액추에이터의 강성의 10배보다 작은 값을 갖는 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 3에 있어서,상기 수동형 탄성부재의 강성은 상기 방진재의 강성과 동일한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 방진재는 방진 대상물을 지지하고, 상기 방진재와 직렬로 상기 액추에이터가 연결되며, 상기 액추에이터와 직렬로 상기 수동형 탄성부재가 연결되는 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 수동형 탄성부재는 금속 재질의 판 스프링인 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 방진재는 능동 공기 스프링인 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 있어서,상기 액추에이터는 압전 구동기인 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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능동 방진 장치로서,낮은 1차 고유 진동수를 갖는 공기 스프링;상기 공기 스프링과 직렬로 연결되는 압전 구동기;상기 공기 스프링 또는 압전 구동기와 직렬로 연결되며, 강성이 상기 압전 구동기의 강성보다 작은 값을 갖는 수동형 탄성부재를 포함하는 능동 방진 장치
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청구항 9에 있어서,상기 공기 스프링은 능동형, 반능동형 또는 수동형 중의 어느 한 방식인 것을 특징으로 하는 능동 방진 장치
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청구항 1에 기재된 능동 방진 장치를 포함하는 정밀 가공 장치
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청구항 1에 기재된 능동 방진 장치를 포함하는 정밀 측정 장치
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