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태양전지의 표면 처리 방법

  • 기술번호 : KST2015205366
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지의 표면을 처리할 때 실리콘기판의 내부 광 반사율이 증가되고, 균일한 전계층의 형성으로 누설전류와 직렬저항이 감소되어 태양전지의 광전변환효율이 향상되며, 처리량이 증가되어 공정 단가가 절감되도록 한 기술에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 표면손상 제거공정에 의해 표면에 존재하는 결함이 제거된 2 장의 실리콘기판을 서로 접합하는 실리콘기판 접합공정; 상기와 같이 접합된 2 장의 실리콘기판의 표면을 텍스쳐링하는 텍스쳐링공정; 및 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리하는 실리콘기판 분리공정;을 포함한다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01)
출원번호/일자 1020140010614 (2014.01.28)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0089700 (2015.08.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.28)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서화일 대한민국 서울특별시 도봉구
2 노시철 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 최정호 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0093024-29
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.11.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0098589-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0085864-03
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-0312907-91
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0312908-36
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0587131-96
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.09.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0937947-43
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0937946-08
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0711457-96
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
태양전지의 제조공정에서 태양전지의 후면을 처리하는 태양전지의 표면 처리 방법에 있어서, 실리콘기판의 표면에 존재하는 결함을 제거하는 표면손상 제거공정;상기 표면손상 제거공정에 의해 표면에 존재하는 결함이 제거된 2 장의 실리콘기판을 서로 접합하는 실리콘기판 접합공정;상기 접합공정에 의해 접합된 2 장의 실리콘기판의 표면을 텍스쳐링하는 텍스쳐링공정; 및상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리하는 실리콘기판 분리공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 전체, 가운데 및 가장자리 중에서 어느 한 부분을 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 가운데와 가장자리를 모두 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 가운데와 가장자리 중 일부분의 가장자리를 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접합물질로서 물, 감광액, 이소프로필알코올(IPA), 풀 및 테이프 중에서 어느 하나 이상을 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접합물질로서 물과 테이프를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 물리적으로 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 진공(vacuum) 장치를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 연마(grinding)를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 상기 실리콘기판의 일측을 고정시킨 후 타측을 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 상기 실리콘기판의 양측을 동시에 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
14 14
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 고무, 흡착판 및 진공 챔버 중에서 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
15 15
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 열을 가하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
16 16
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 플라즈마 에너지를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
17 17
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 초음파를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
18 18
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 아세톤, 메탄올, 황산, 불산, 과산화수소, 이소프로필알코올, 물, N2 및 CDA 중에서 어느 하나를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
19 19
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 아세톤과 메탄올을 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
20 20
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 황산과 과산화수소를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
21 21
제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 N2와 CDA(Clean Dry Air)를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.