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태양전지의 제조공정에서 태양전지의 후면을 처리하는 태양전지의 표면 처리 방법에 있어서, 실리콘기판의 표면에 존재하는 결함을 제거하는 표면손상 제거공정;상기 표면손상 제거공정에 의해 표면에 존재하는 결함이 제거된 2 장의 실리콘기판을 서로 접합하는 실리콘기판 접합공정;상기 접합공정에 의해 접합된 2 장의 실리콘기판의 표면을 텍스쳐링하는 텍스쳐링공정; 및상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리하는 실리콘기판 분리공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 전체, 가운데 및 가장자리 중에서 어느 한 부분을 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 가운데와 가장자리를 모두 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접착대상 면의 가운데와 가장자리 중 일부분의 가장자리를 접합하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접합물질로서 물, 감광액, 이소프로필알코올(IPA), 풀 및 테이프 중에서 어느 하나 이상을 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 접합공정은 상기 2 장의 실리콘기판을 서로 접합할 때, 접합물질로서 물과 테이프를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 물리적으로 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 진공(vacuum) 장치를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 연마(grinding)를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 상기 실리콘기판의 일측을 고정시킨 후 타측을 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 상기 실리콘기판의 양측을 동시에 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 고무, 흡착판 및 진공 챔버 중에서 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 열을 가하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 플라즈마 에너지를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 초음파를 이용하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 아세톤, 메탄올, 황산, 불산, 과산화수소, 이소프로필알코올, 물, N2 및 CDA 중에서 어느 하나를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 아세톤과 메탄올을 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 황산과 과산화수소를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 실리콘기판 분리공정은 상기 텍스쳐링된 2 장의 실리콘기판을 서로 분리할 때 N2와 CDA(Clean Dry Air)를 사용하여 분리하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 표면 처리 방법
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