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용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치로서,클락 입력(CLK)과 용량 제어값을 결정하기 위한 디지털 입력값(DP[7:0]) 및 상기 입력값에 따라 고속으로 변화하는 디지털 출력값(SDP[2:0])으로 구성되어 마이크로 가속도 센서의 정 용량 에러(ΔCp_err)를 미세 조정하기 위한 정 용량 시그마 델타 모듈레이터;클락 입력(CLK)과 용량 제어값을 결정하기 위한 디지털 입력값(DN[7:0]) 및 상기 입력값에 따라 고속으로 변화하는 디지털 출력값(SDN[2:0])으로 구성되어 상기 마이크로 가속도 센서의 부 용량 에러(ΔCn_err)를 조정하기 위한 부 용량 시그마 델타 모듈레이터;상기 정 용량 시그마 델타 모듈레이터에서 디지털 출력값(SDP[2:0])이 출력되는 출력단에 각각 게이트(G)가 연결되고 상기 게이트(G)의 양단(P,N)은 상기 마이크로 가속도 센서의 Inp와 Icm 입력단에 연결되는 정 용량 가변 콘덴서; 및상기 부 용량 시그마 델타 모듈레이터에서 디지털 출력값(SDN[2:0])이 출력되는 출력단에 각각 게이트(G)가 연결되고 상기 게이트(G)의 양단(P,N)은 상기 마이크로 가속도 센서의 Inn과 Icm 입력단에 연결되는 부 용량 가변 콘덴서를 포함하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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청구항 1에 있어서,상기 정 용량 시그마 델타 모듈레이터와 부 용량 시그마 델타 모듈레이터는 각각 독립적으로 상기 정 용량 에러(ΔCp_err)와 부 용량 에러(ΔCn_err)를 “0”으로 만들기 위해 별도로 제어가 되는것을 특징으로 하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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청구항 1에 있어서,상기 정 용량 시그마 델타 모듈레이터는 클락 입력(CLK)과 디지털 입력값(DP[7:0])을 입력받아 적산기와 딜레이에 의해 상기 디지털 입력값(DP[7:0])에 맞게 고속으로 디지털 변조된 디지털 출력값(SDP[2:0])을 출력하고, 상기 부 용량 시그마 델타 모듈레이터는 클락 입력(CLK)과 디지털 입력값(DN[7:0])을 입력받아 적산기와 딜레이에 의해 상기 디지털 입력값(DN[7:0])에 맞게 고속으로 디지털 변조된 디지털 출력값(SDN[2:0])을 출력하는것을 특징으로 하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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청구항 3에 있어서,상기 정 용량 시그마 델타 모듈레이터와 상기 부 용량 시그마 델타 모듈레이터는 2차의 시그마 델타 모듈레이터로서 그 출력값의 평균값은 각각 -1~2의 값을 갖고, 이 값을 정수값으로 하기 위해 써모로직(ThemoLogic)을 사용하여 그 출력값이 0~3으로 조정되는것을 특징으로 하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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청구항 1에 있어서,상기 정 용량 가변 콘덴서와 부 용량 가변 콘덴서 각각의 커패시턴스 값은 게이트 전압에 의해 결정되며, 가변 콘덴서의 인버젼 모드(Inversion mode)일 때의 커패시턴스 최소값(Cmin)과 적산 모드(Accumulation Mode)일 때의 커패시턴스 최대값(Cmax)의 두 가지 값 중 어느 하나의 값을 갖는것을 특징으로 하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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청구항 1에 있어서,상기 정 용량 가변 콘덴서 또는 상기 부 용량 가변 콘덴서의 총 커패시턴스 값의 최소값은 각각 상기 정 용량 시그마 델타 모듈레이터 또는 상기 부 용량 시그마 델타 모듈레이터의 입력 제어값의 비트 수에 의해 결정되는것을 특징으로 하는 용량형 마이크로 가속도 센서의 부정합 용량을 보정하기 위한 시그마 델타 보상회로장치
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