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초정밀 장비;서로 이격되도록 상기 초정밀 장비의 하단에 각각 고정되어, 상기 초정밀 장비를 수평적으로 지지하도록 하는 3개 이상의 로드셀들; 및상기 로드셀들로부터 제공되는 측정값들의 비교 결과에 대응하는 상기 초정밀 장비의 기울어짐 값을 구하여, 상기 초정밀 장비의 수평을 측정할 수 있는 연산부를 구비하는 기울어짐 감시 장치
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제1 항에 있어서, 상기 기울어짐 값을 시간에 따라 기록한 제1 로그 파일을 저장하는 메모리를 더 포함하는 기울어짐 감시 장치
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제2 항에 있어서, 상기 메모리는 상기 초정밀 장비에 의하여 가공된 제품의 식별번호를 시간에 따라 기록한 제2 로그 파일을 저장하는 기울어짐 감시 장치
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제3 항에 있어서, 상기 연산부는 상기 제1 로그 파일, 상기 제2 로그 파일, 및 상기 식별번호에 대응하는 제품의 불량 여부를 기록한 제3 로그 파일로부터 기울어짐 값과 불량률의 함수 관계를 연산하는 기울어짐 감시 장치
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제1 항에 있어서, 상기 기울어짐 값이 소정 값을 초과하면 사용자에게 경보를 제공하는 경보부를 더 포함하는 기울어짐 감시 장치
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제1 항에 있어서, 상기 연산부는 상기 측정값들 중 적어도 하나의 측정값의 교류 성분으로부터 주파수 및 진폭을 구하는 기울어짐 감시 장치
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제6 항에 있어서, 상기 주파수 및 상기 진폭을 시간에 따라 기록한 로그 파일을 저장하는 메모리를 더 포함하는 기울어짐 감시 장치
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제7 항에 있어서, 상기 진폭이 소정 값 초과이면 사용자에게 경보를 제공하는 경보부를 더 포함하는 기울어짐 감시 장치
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