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웨이퍼 이송용 로봇암

  • 기술번호 : KST2015205441
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로, 그 구성은 로봇암 일측 단부에서 연장되게 구비되어 웨이퍼가 안치될 수 있게 하는 안치대; 상기 안치대 일측 상부에 구비되며 일측이 웨이퍼 외주와 동일한 형태로 곡선진 블록; 상기 블록의 곡선진 위치에 구비되어 상기 웨이퍼를 지지한 상태로 안치대에 웨이퍼를 정렬되게 하는 안내수단;을 포함하여 이루어진다.
Int. CL B25J 15/08 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01)
출원번호/일자 1020110074679 (2011.07.27)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1082605-0000 (2011.11.04)
공개번호/일자 10-2011-0094259 (2011.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20111110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2009-0033141 (2009.04.16)
관련 출원번호 1020090033141
심사청구여부/일자 Y (2011.07.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유지환 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 칼리스 토토쿠로브 러시아 충남 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0581574-73
2 등록결정서
Decision to grant		 2011.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0575761-65
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
로봇암 일측 단부에서 연장되게 구비되어 웨이퍼가 안치될 수 있게 하는 안치대;상기 안치대 일측 상부에 구비되며, 일측면이 웨이퍼 외주와 동일한 형태로 곡선진 블록;상기 블록의 곡선진 위치에 구비되어 상기 웨이퍼를 지지한 상태로 안치대에 웨이퍼를 정렬되게 하는 안내수단;을 포함하되,상기 안내수단은,상기 안치대 상면에 형성된 고정판;상기 고정판 단부에서 일정 경사각을 이루며 연장되어 형성되고, 상기 고정판 단부에서 탄성력을 갖도록 형성되는 제1 틸팅판 및 제2 틸팅판; 을 포함하며,상기 제1 틸팅판 및 상기 제2 틸팅판에 의해 웨이퍼를 탄지하여 상기 안치대에 정렬되게 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암
2 2
청구항 1에 있어서,상기 제1 틸팅판과 상기 제2 틸팅판은 상호 사이각이 직각을 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암
지정국 정보가 없습니다
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1 KR101082604 KR 대한민국 FAMILY

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