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포토 레지스트 분사노즐 장치

  • 기술번호 : KST2015205450
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 포토 레지스트 분사노즐 장치를 제공한다. 본 발명의 분사노즐 장치는 액정디스플레이 기판의 상부에 폭방향을 따라 배치되는 몸체를 구비하되, 몸체는 포토 레지스트를 도입하기 위한 도입구와, 도입된 포토 레지스트를 상기 기판의 폭방향을 따라 확산시키는 확산실과, 확산된 포토 레지스트를 상기 기판의 표면에 분사하는 분사통로를 구비하는 포토 레지스트 분사노즐 장치에 있어서, 도입구는 상기 몸체의 중앙부에 형성되고; 확산실은 반원형의 단면을 가지되, 도입구를 중심으로 몸체의 폭방향 양쪽을 향해 점차적으로 축소되는 단면적을 가지며; 분사통로는 폭방향의 양쪽 측벽면이 하방으로 갈수록 상기 몸체의 외측을 향해 테이퍼져 있다. 이러한 본 발명에 의하면, 항상 균일한 유속, 유량, 유압의 포토 레지스트를 분사하는 구조를 갖춤으로써, 포토 레지스트의 분사초기와 분사후기에 관계없이 포토 레지스트를 항상 균일하게 분사할 수 있으며, 따라서 분사노즐 장치의 운동 개시 시점과, 운동 정지 시점에서도 기판의 표면에 포토 레지스트를 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 분사통로로부터 분사된 포토 레지스트가 분사통로의 양쪽 끝부분에 점착되는 것을 방지하는 구조를 갖춤으로써, 분사통로로부터 분사된 포토 레지스트가 항상 균일한 유속과 유압과 유량을 유지할 수 있게 한다.
Int. CL G03F 7/16 (2006.01.01) G02F 1/1362 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) G03F 7/30 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01)
출원번호/일자 1020040074446 (2004.09.17)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0588410-0000 (2006.06.02)
공개번호/일자 10-2006-0025690 (2006.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20060614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 2020040026723;
심사청구여부/일자 Y (2004.09.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진도 대한민국 충남 천안시
2 김장우 대한민국 충남 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **(문정동) H비지니스파크 B동 ***호(극동국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 실용신안등록이중출원서
Dual Application for Utility Model Registration		 2004.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-0422119-41
2 특허출원서
Patent Application		 2004.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-0422032-78
3 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2005.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2005-0432628-93
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.09.09 수리 (Accepted) 4-1-2005-5093953-95
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.09.09 수리 (Accepted) 4-1-2005-5093948-66
6 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2005.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2005-0532444-12
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0082980-37
9 등록결정서
Decision to grant		 2006.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0128206-12
10 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0282178-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5082796-34
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2007-5086611-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
액정디스플레이 기판의 상부에 폭방향을 따라 배치되는 몸체를 구비하되, 상기 몸체는 포토 레지스트를 도입하기 위한 도입구와, 도입된 포토 레지스트를 상기 기판의 폭방향을 따라 확산시키는 확산실과, 확산된 포토 레지스트를 상기 기판의 표면에 분사하는 분사통로를 구비하는 포토 레지스트 분사노즐 장치에 있어서, 상기 도입구는 상기 몸체의 중앙부에 형성되고; 상기 확산실은 반원형의 단면을 가지되, 상기 도입구를 중심으로 상기 몸체의 폭방향 양쪽을 향해 점차적으로 축소되는 단면적을 가지며; 상기 분사통로는 폭방향의 양쪽 측벽면이 하방으로 갈수록 상기 몸체의 외측을 향해 테이퍼져 있는 것을 특징으로 하는 포토 레지스트 분사노즐 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 분사통로의 폭방향 양쪽 측벽면으로부터 하방으로 연장되는 연장 돌출부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 포토 레지스트 분사노즐 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 연장 돌출부의 내측 끝부분이 소정 곡률로 라운딩 처리되는 것을 특징으로 하는 포토 레지스트 분사노즐 장치
4 3
제 2항에 있어서, 상기 연장 돌출부의 내측 끝부분이 소정 곡률로 라운딩 처리되는 것을 특징으로 하는 포토 레지스트 분사노즐 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR200369839 KR 대한민국 FAMILY

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