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가스센서용 마이크로 히터 제조방법 및 그에 의해 제조된마이크로히터

  • 기술번호 : KST2015205461
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스센서용 마이크로히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터에 관한 것으로서, 특히 상부면에 제 1 절연막이 형성된 웨이퍼의 상부에 폴리실리콘(Poly si) 재질의 희생층을 평평하게 형성하고, 상기 희생층 상부로 복수의 절연층을 형성한 후 그 절연층의 상부에 폴리실리콘 재질의 히터와 절연층, 알루미늄(Al) 재질의 온도센서와 절연층 및 산화아연(ZnO) 재질의 가스감지막을 순차적으로 적층하며, 상기 가스감지막의 상부에 제 2 절연막을 피복한 후 포토마스크를 이용하여 제 2 절연막에 에칭홀을 형성하고, 상기 에칭홀을 통해 건식에칭을 위한 플라즈마가스를 불어넣어 등방성 식각작용에 의해 히터와 웨이퍼 사이에 'U' 모양의 단열공간이 형성되도록 하므로서, 마이크로 히터 제조시 웨이퍼 상부에 희생층을 평평하게 형성할 수 있게되어 최종 생산제품에 단차가 크게 발생하지 않게되고, 건식에칭법을 이용하여 단열공간을 형성함에 따라 에칭공정이 끝난 후 단열공간 내부에 이물질이 남지않게되어 단열성능이 향상되는 효과를 기대할 수 있도록 한 가스센서용 마이크로히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터에 관한 것이다.가스센서, 마이크로히터, 감지막, 건식에칭, 플라즈마가스,
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/16 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020060049677 (2006.06.02)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0777192-0000 (2007.11.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.06.02)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤의중 대한민국 충남 아산시
2 이석태 대한민국 경기 평택시 비
3 박형식 대한민국 경기 부천시 소사구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0390917-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0014166-30
4 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.05.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0327145-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0248344-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5082796-34
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2007-5086611-01
8 의견서
Written Opinion		 2007.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0466850-22
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0466862-70
10 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0564233-95
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부면에 제 1 절연막(2)이 형성된 웨이퍼(1)의 상부에 폴리실리콘(Poly si) 재질의 희생층(3)을 평평하게 형성하고, 상기 희생층(3) 상부로 복수의 절연층(4)을 형성한 후 그 절연층(4)의 상부에 폴리실리콘 재질의 히터(5)와 절연층(6), 알루미늄(Al) 재질의 온도센서(7)와 절연층(8) 및 산화아연(ZnO) 재질의 가스감지막(9)을 순차적으로 적층하며, 상기 가스감지막(9)의 상부에 제 2 절연막(10)을 피복한 후 포토마스크를 이용하여 제 2 절연막(10)에 에칭홀(11)을 형성하고, 상기 에칭홀(11)을 통해 건식에칭을 위한 플라즈마가스를 불어넣어 등방성 식각작용에 의해 히터(5)와 웨이퍼(1) 사이에 'U' 모양의 단열공간(12)이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 가스센서용 마이크로 히터 제조방법
2 2
청구항 1 항의 제조방법에 의하여 제조된 것을 특징으로 하는 가스센서용 마이크로 히터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.