| 1 |
1
SECS-Ⅰ프로토콜을 통해 전송되는 반도체 장비의 메시지를 수신받아 상기 메시지의 헤더를 분석하고 상기 메시지 내에 포함된 데이터를 추출하는 SECS-Ⅰ처리모듈;
HSMS 프로토콜을 통해 전송되는 반도체 장비의 메시지를 수신받아 상기 메시지의 헤더를 분석하고 상기 메시지 내에 포함된 데이터를 추출하는 HSMS 처리모듈;
상기 SECS-Ⅰ처리모듈과 상기 HSMS 처리모듈에서 추출된 메시지 데이터를 기 설정해 놓은 자기기술(Self Description) 요소에 매핑시키는 데이터 처리모듈; 및
상기 데이터 처리모듈에서 상기 자기기술 요소에 매핑시켜 놓은 메시지 데이터를 XML 형태의 메시지로 변환하는 XML 변환모듈;을 포함하여 이루어지는 반도체 장비 인터페이스 장치
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,
상기 데이터 처리모듈에서 자기기술 요소에는, 상기 메시지 데이터의 특성별로 기 설정해 놓은 분류기준에 따라 상기 메시지 데이터를 분류해 놓은 분류코드를 나타내는 Direction 요소가 포함되어 있고,
상기 XML 변환모듈을 통해 XML 형태로 변환된 메시지를 수신받아 그 수신한 메시지 내에 Direction 요소를 확인하고 상기 확인 Direction 요소에 따라 상기 메시지를 분류하여 처리하는 데이터 분류모듈;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 인터페이스 장치
|
| 3 |
3
제2 항에 있어서,
상기 데이터 분류모듈은,
상기 메시지 내에 포함된 Direction 요소를 확인하여 상기 Direction 요소에 따라 상기 메시지를 분류하여 복수 개의 모니터링 서버들 중 어느 한 서버로 전송하거나 상기 Direction 요소에 따라 상기 메시지를 분류하여 복수 개의 데이터 베이스 중 어느 한 데이터베이스에 저장시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 인터페이스 장치
|
| 4 |
4
웹상에 존재하는 복수 개의 모니터링 서버들; 및
반도체 장비들로부터 상이한 프로토콜을 통해 전송되는 메시지를 수신받아 그 수신한 메시지의 메시지 형태를 XML 형태로 변환하고 그 변환한 메시지를 메시지 특성에 따라 분류하여 상기 복수 개의 모니터링 서버들 중 어느 한 모니터링 서버로 전송하는 반도체 장비 인터페이스 장치;를 포함하되,
상기 반도체 장비 인터페이스 장치는, SECS-Ⅰ프로토콜을 통해 전송되는 반도체 장비의 메시지를 수신받아 상기 메시지의 헤더를 분석하고 상기 메시지 내에 포함된 데이터를 추출하는 SECS-Ⅰ처리모듈과, HSMS 프로토콜을 통해 전송되는 반도체 장비의 메시지를 수신받아 상기 메시지의 헤더를 분석하고 상기 메시지 내에 포함된 데이터를 추출하는 HSMS 처리모듈과, 상기 SECS-Ⅰ처리모듈과 상기 HSMS 처리모듈에서 추출된 메시지 데이터를 기 설정해 놓은 자기기술(Self Description) 요소에 매핑시키는 데이터 처리모듈, 및 상기 데이터 처리모듈에서 상기 자기기술 요소에 매핑시켜 놓은 메시지 데이터를 XML 형태의 메시지로 변환하는 XML 변환모듈,을 구비하는 반도체 장비 인터페이스 장치를 이용한 모니터링 시스템
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,
복수 개의 데이터베이스;를 더 포함하고,
상기 반도체 장비 인터페이스 장치가 상기 XML 형태로 변환한 메시지를 그 메시지 특성에 따라 분류하여 상기 복수 개의 데이터베이스 중 어느 한 데이터베이스에 저장시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 인터페이스 장치를 이용한 모니터링 시스템
|
| 6 |
6
제4 항 또는 제5 항에 있어서,
상기 XML 변환모듈을 통해 XML 형태로 변환된 메시지를 기 설정해 놓은 분류기준에 따라 분류하여 처리하는 데이터 분류모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 인터페이스 장치를 이용한 모니터링 시스템
|
