맞춤기술찾기

이전대상기술

비접촉식 웨이퍼 척 조립체

  • 기술번호 : KST2015205499
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 척에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기압에 의해 비접촉식으로 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척 조립체에 관한 것이다.본 발명에 따른 비접촉식 웨이퍼 척 조립체는, 디스크 형상이고, 내부에 형성된 팬챔버와, 상면으로 개방되며 방사상 등간격으로 배치된 복수의 지지챔버와, 상기 팬챔버와 복수의 지지챔버를 연결하는 연결통로가 각각 형성된 척과, 상기 척의 팬챔버에 삽입되어 회전하는 원심팬을 포함하여 이루어진다.웨이퍼, 척, 비접촉, 공기, 부압.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/687 (2006.01.01)
CPC H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01)
출원번호/일자 1020070086178 (2007.08.27)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0888550-0000 (2009.03.05)
공개번호/일자 10-2009-0021559 (2009.03.04) 문서열기
공고번호/일자 (20090311) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.27)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김병삼 대한민국 서울시 강남구
2 안태길 대한민국 서울시 강남구
3 조중근 대한민국 서울시 양천구
4 구교욱 대한민국 충남 천안시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0622152-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0030869-28
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0459852-30
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0658744-28
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0658746-19
7 등록결정서
Decision to grant
2009.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0093891-61
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
디스크 형상이고, 내부에 형성된 팬챔버와, 상면으로 개방되며 방사상 등간격으로 배치된 복수의 지지챔버와, 상기 팬챔버와 복수의 지지챔버를 연결하는 연결통로가 각각 형성된 척과,상기 척의 팬챔버에 삽입되어 회전하는 원심팬을 포함하여 이루어진 비접촉식 웨이퍼 척 조립체
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 지지챔버는 각각 원기둥 형상이고, 상기 연결통로는 상기 복수의 지지챔버 각각의 접선방향에서 상기 지지챔버에 연결되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 웨이퍼 척 조립체
3 3
제1항에 있어서,상기 팬챔버와 복수의 지지챔버를 연결하는 각 연결통로는 곡선형으로 형성되어 각 지지챔버의 두 지점에서 접선방향으로 연결되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 웨이퍼 척 조립체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산자부,교육부 호서대학교 산학협력단 산학협력중심대학사업 반도체 제조장비용 쾌속이송전용 로봇시스템의 개발