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기판 상에 형성되는 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴을 포함하는 전자디스플레이용 컬러필터 제조 방법에 있어서,
상기 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴을 각각 큐어링하는 공정을 0
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제 1 항에 있어서,
상기 기판은 80㎛ ~ 3,000㎛ 두께 범위를 갖는 유리 기판 또는 플라스틱 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 전자디스플레이용 컬러필터의 저온 큐어링 방법
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제 1 항에 있어서,
상기 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴은 각각 전자빔 또는 자외선(UV)을 이용한 노광 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 전자디스플레이용 컬러필터의 저온 큐어링 방법
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기판 상에 형성되는 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴을 포함하는 전자디스플레이용 컬러필터 제조 방법에 있어서,
상기 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴을 각각 큐어링하는 공정을 0
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제 5 항에 있어서,
상기 투명한 테플론판, 플라스틱판 또는 유리판의 두께는 10㎛ ~ 2,100㎛이고, 1개 내지 7개가 삽입되도록 하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 전자디스플레이용 컬러필터의 저온 큐어링 방법
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9
제 1 항에 있어서,
상기 전자빔이 조사되는 동안 상기 적색 패턴, 녹색 패턴, 청색 패턴 또는 블랙매트릭스 패턴의 표면에 불활성 가스인 질소 또는 알곤이 접촉되도록 하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 전자디스플레이용 컬러필터의 저온 큐어링 방법
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10
기판 상부에 컬러필터 형성용 레지스트를 코팅하는 단계;
상기 컬러필터 형성용 레지스트를 예비 베이킹 하는 단계;
예비 베이킹된 상기 컬러필터 형성용 레지스트를 노광 및 현상하여 컬러필터 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 컬러필터 패턴에 0
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11
기판 상부에 컬러필터 형성용 레지스트를 코팅하는 단계;
상기 컬러필터 형성용 레지스트를 예비 베이킹 하는 단계;
예비 베이킹된 상기 컬러필터 형성용 레지스트를 노광 및 현상하여 컬러필터 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 컬러필터 패턴에 0
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12
기판 상부에 컬러필터 형성용 레지스트를 코팅하는 단계;
상기 컬러필터 형성용 레지스트를 예비 베이킹 하는 단계;
예비 베이킹된 상기 컬러필터 형성용 레지스트를 노광하여 컬러필터 패턴을 형성하되, 0
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청구항 제 10 항 내지 제 12 항 중 선택된 어느 한 항의 전자빔을 이용한 전자디스플레이용 컬러필터의 제조 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 전자디스플레이용 컬러 필터
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