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FOUP 반송용 컨베이어

  • 기술번호 : KST2015205545
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 FOUP 반송용 컨베이어는 상호 대향되게 배치되는 레일과, 상기 레일의 길이방향을 따라 회전 가능하게 장착되어 상호 대향하며 웨이퍼 캐리지(Front Opening Unified POD, 이하 'FOUP')를 일방향으로 이송시키는 복수의 가이드롤러와, 상기 한 쌍의 레일 일단부에 각각 장착되어 상호 대면하고 구동력을 전달받아 정, 역회전하는 풀리 어셈블리와, 상기 풀리 어셈블리와 상기 가이드롤러의 외주면을 감싸며 상기 레일의 길이 방향을 따라 양측에서 접촉면적을 제공하는 탄성 재질의 벨트와, 상기 한 쌍의 레일 중 일측의 레일 양단부에 장착되어 상기 풀리 어셈블리에 구동력 전달여부의 신호와 함께 상기 FOUP의 위치를 메인 서버로 전송하는 센서부를 포함하며, 상기 풀리 어셈블리의 일측 외주면과 상기 가이드롤러의 일측 외주면은 같은 선상에 배치되고, 상기 레일은 복수의 것이 일렬로 가감 가능하게 배치된다.FOUP, 반송, 컨베이어, 풀리 어셈블리, 가이드롤러, 벨트
Int. CL B65G 23/04 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01) H01L 21/67706(2013.01)
출원번호/일자 1020090090136 (2009.09.23)
출원인 호서대학교 산학협력단, 크린팩토메이션 주식회사
등록번호/일자 10-1215220-0000 (2012.12.17)
공개번호/일자 10-2011-0032578 (2011.03.30) 문서열기
공고번호/일자 (20121224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.23)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
2 크린팩토메이션 주식회사 대한민국 경기도 화성

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권정태 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 배성관 대한민국 경기도 용인시 처인구
3 구본상 대한민국 충청남도 천안시 동남구
4 강성재 대한민국 강원도 원주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 충청남도 아산시
2 크린팩토메이션 주식회사 경기도 화성
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0585003-60
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0586864-11
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0058850-00
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.18 수리 (Accepted) 4-1-2011-5146130-65
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0448717-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0782431-67
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0782432-13
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0153132-15
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0285525-15
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.04.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0285526-61
13 보정요구서
Request for Amendment
2012.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0044266-47
14 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2012.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0289912-75
15 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0300193-05
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0580885-23
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0580886-79
18 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0717716-42
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-0042975-91
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상호 대향되게 배치되는 레일;상기 레일의 길이방향을 따라 회전 가능하게 장착되어 상호 대향하며 웨이퍼 캐리지(Front Opening Unified POD, 이하 'FOUP')를 일방향으로 이송시키는 복수의 가이드롤러;상기 한 쌍의 레일 일단부에 각각 장착되어 상호 대면하고 구동력을 전달받아 정, 역회전하는 풀리 어셈블리;상기 풀리 어셈블리와 상기 가이드롤러의 외주면을 감싸며 상기 레일의 길이 방향을 따라 양측에서 접촉면적을 제공하는 탄성 재질의 벨트; 및상기 한 쌍의 레일 중 일측의 레일 양단부에 장착되어 상기 풀리 어셈블리에 구동력 전달여부의 신호와 함께 상기 FOUP의 위치를 메인 서버로 전송하는 센서부;상기 벨트와 접촉하는 부위에 합성수지로 코팅 처리되어 마찰력을 제공하는 원통 형상의 몸체와, 상기 몸체의 일단부를 따라 연장된 플랜지를 포함하여 상기 풀리 어셈플리와 밀착되어 회전하는 무구동 롤러인 접촉롤러;를 포함하며,상기 레일은 상기 풀리 어셈블리에 구동력을 전달하는 구동모터가 장착되는 구동레일과, 상기 구동레일과 대향하는 지지레일을 포함하고,상기 가이드롤러는 원통 형상의 제 1 롤러와, 원통 형상의 몸체와, 상기 몸체의 일단부 가장자리를 따라 플랜지가 연장된 제 2 롤러를 포함하며, 상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러는 교차로 반복 배치되고, 상기 제 1 롤러와 상기 제 2 롤러의 외주면에는 상기 벨트와 접촉하는 부위에 합성수지로 코팅 처리되어 마찰력을 제공하고, 상기 센서부는 상기 한 쌍의 레일 중 일측의 레일 양단부에 장착되며 빔을 조사하여 상기 FOUP를 감지하는 센서와, 상기 한 쌍의 레일 중 타측의 레일을 따라 부착되며 상기 센서의 빔을 반사시키는 반사 테이프를 포함하며, 상기 반사 테이프가 부착되는 면과 상기 센서의 빔 조사 방향은 상호 직교하며,상기 풀리 어셈블리의 일측 외주면과 상기 가이드롤러의 일측 외주면은 같은 선상에 배치되고, 상기 레일은 복수의 것이 일렬로 가감 가능하게 배치되는 FOUP 반송용 컨베이어
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 풀리 어셈블리는,상기 한 쌍의 레일 중 일측의 레일에 장착되어 구동력을 전달받는 구동풀리와,상기 구동풀리가 장착된 상기 일측의 레일에 대향하는 타측의 레일에 장착되는 종동풀리와,상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 상호 연결하는 구동전달축을 포함하며, 상기 구동풀리는 벨트 또는 기어 결합에 의하여 구동력을 전달받고,상기 접촉롤러는 상기 구동풀리 및 종동풀리와 각각 밀착되어 회전하는 FOUP 반송용 컨베이어
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1 WO2011037289 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2011037289 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부,지식경제부,기업체 호서대학교 산학협력단 충남산학협력중심대학육성사업 300mm FOUP 반송용 고속 컨베이어 개발