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감광액 도포장치

  • 기술번호 : KST2015205591
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 감광액 도포장치에 관한 것으로서, 몸체부(40)와; 몸체부(40) 내에 형성되어, 감광액공급유닛(20)으로부터 공급되는 감광액을 수용하는 감광액수용부와(50); 감광액수용부(50)의 하측에 연통되어, 기판(10)에 감광액을 분사하는 감광액분사부(60)와; 감광액수용부(50) 내에 수용되는 감광액에 진동을 발생시키는 진동발생부(70)와; 감광액수용부(50)의 상측에 연통되어, 진동발생부(70)를 통해 발생된 진동에 의해 감광액으로부터 증발되는 휘발성분 및 버블이 배출되는 배출부(80)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 감광액수용부에 수용되는 감광액의 휘발성분 및 마이크로 버블을 효율적으로 제거할 수 있어, 감압건조 공정시 기판에 형성된 도포막의 균일도를 일정하게 유지시킬 수 있다.슬릿코터, 몸체부, 감광액수용부, 감광액분사부, 진동발생부, 배출부
Int. CL H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01) G03F 7/16(2013.01)
출원번호/일자 1020050067157 (2005.07.25)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0637694-0000 (2006.10.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061025) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.07.25)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김장우 대한민국 대전 유성구
2 정진도 대한민국 충남 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 정진도 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2005-0402545-54
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0254374-05
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0252422-52
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0056566-28
6 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0562323-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2007-5082796-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2007-5086611-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
감광액공급유닛과; 상기 감광액공급유닛과 연통 설치되어, 상기 감광액공급유닛으로부터 공급되는 감광액을 기판에 분사하는 슬릿코터를 갖는 감광액 코팅장치에 있어서,상기 슬릿코터는,몸체부와;상기 몸체부 내에 형성되어, 상기 감광액공급유닛으로부터 공급되는 감광액을 수용하는 감광액수용부와;상기 감광액수용부의 하측에 연통되어, 상기 기판에 감광액을 분사하는 감광액분사부와;상기 감광액수용부 내에 수용되는 감광액에 진동을 발생시키는 진동발생부와;상기 감광액수용부의 상측에 연통되어, 상기 진동발생부를 통해 발생된 진동에 의해 감광액으로부터 증발되는 휘발성분 및 버블이 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광액 도포장치
2 2
제1항에 있어서,상기 진동발생부는, 상기 몸체부의 외측에 마련되는 초음파발진기와; 상기 감광액수용부 내에 수용되는 감광액에 진동을 발생시키는 진동플레이트와; 상기 초음파발진기 및 상기 진동플레이트 사이에 연결되는 진동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광액 도포장치
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 감광액수용부는 상기 몸체부 내에 길이방향으로 마련되며, 중앙영역의 일측에는 상기 감광액공급유닛과 연통되는 감광액유입홀이 형성됨과 아울러 중앙영역에서 양측으로 갈수록 유로폭이 좁아지는 것을 특징으로 하는 감광액 도포장치
4 4
제3항에 있어서,상기 배출부에는 개폐밸브 및 유량센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 감광액 도포장치
5 5
제4항에 있어서,상기 개폐밸브는 일정의 시간간격을 두고 주기적으로 개폐되며,상기 유량센서는 상기 개폐밸브의 개방시 상기 감광액공급유닛으로부터 공급되는 감광액의 양을 조절하여 상기 감광액수용부 내의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있도록 상기 감광액수용부 내의 유량을 감지하는 것을 특징으로 하는 감광액 도포장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.