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반도체 관련 공장, 연구소 및 대학 실험실에서 발생하는 폐가스를 처리하는 습식 분진 및 폐가스 집진 장치에 있어서,상측에 가스 배출구와, 하측에 폐수 배출구를 가지며, 하측과 근접한 측면부에 폐가스 유입구를 가지는 스크러버 몸체;상기 폐가스 유입구에 설치되어, 유입되는 폐가스에 수 내지 수십 마이크론 크기의 미세 액적을 분무하는 미세 액적 분사 장치;상기 몸체의 측벽면에 설치되는 냉각판;상기 냉각판을 냉각하는 적어도 하나 이상의 냉각장치; 상기 냉각판을 가진하는 가진유닛; 및상기 냉각장치 및 가진유닛을 제어하는 제어유닛;을 포함하며,상기 제어유닛은,상기 냉각판의 온도를 감지하는 온도 감지센서;상기 냉각장치의 냉각 온도를 제어하는 온도 제어부; 및 상기 가진유닛의 주파수를 제어하는 주파수 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각판은,하방 경사각을 가지도록 배치되는 적어도 2개 이상의 판상 부재가 서로 다른 높이로 배치된 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각판은,수분을 응결시키는 응결장치로서 열전도도와 내식성이 우수한 금속 또는 세라믹 소재를 판상 형태로 가공한 것으로, 스크러버 몸체 내벽에 30°~150°각도로 하향 경사지게 설치하여, 폐가스와 접촉면적을 넓히고 응결액체가 스크러버 몸체 하단으로 자유낙하에 의해 떨어질 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각판은,열전도도와 내식성이 우수한 금속 또는 세라믹 소재를 사용하여 20매쉬 내지 700매쉬로 간극을 형성시킨 매쉬 스크린을 스크러버 몸체의 내측 벽면과 수직이 되도록 설치한 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 3 항에 있어서, 상기 냉각판은,매쉬 스크린과 평면판을 함께 설치한 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가진유닛은, 초음파 진동장치인 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항에 있어서, 상기 미세 액적 분사 장치는,폐가스에 수 내지 수십 마이크론 단위 크기의 미세 액적을 분사시킴에 있어서 폐가스 유입관 주변에 초음파진동자를 1개 이상 장착하여 주파수 30kHz ~ 30MHz 로 동작시켜 미세한 액적을 분무하는 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 상기한 습식 분진 및 폐가스 집진장치를 2개 이상 직렬 연결한 것을 특징으로 하는 습식 분진 및 폐가스 집진장치
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