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주울 열을 이용한 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015205629
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주울 열을 이용한 패터닝 방법에 관한 것이다.즉, 본 발명은 기판에 도포막을 형성하는 단계와; 상기 도포막에 주울 열(Joule heat)로 인가하여, 상기 도포막의 선택적인 영역을 경화시키는 단계와; 상기 경화된 도포막 영역을 남겨놓고, 상기 도포막을 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020110128238 (2011.12.02)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0061918 (2013.06.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.02)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문철희 대한민국 충청남도 아산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0959544-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.22 수리 (Accepted) 9-1-2012-0067261-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0186072-71
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0361494-30
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 도포막을 형성하는 단계와;상기 도포막에 주울 열(Joule heat)로 인가하여, 상기 도포막의 선택적인 영역을 경화시키는 단계와;상기 경화된 도포막 영역을 남겨놓고, 상기 도포막을 제거하는 단계를 포함하는 주울 열을 이용한 패터닝 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 도포막은,경화되는 물질로 형성하는 주울 열을 이용한 패터닝 방법
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 도포막은 Ag, Cu, Ni, Au, Al 중 하나의 금속 재질이 포함된 도포막인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 도포막은 Al2O3, SiO2, PbO 중 하나의 산화물 세라믹 재질인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 기판은,유리, 금속, 플라스틱, 세라믹 중의 하나의 기판인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
6 6
청구항 1 내지 6 중 한 항에 있어서, 상기 도포막에 주울 열(Joule heat)로 인가하는 것은, 플레이트에 형성된 전극 패턴으로 도포막에 주울 열로 인가하는 것인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 플레이트는,금속 또는 세라믹 재질인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
8 8
청구항 7에 있어서, 상기 전극 패턴은,금속 재질인 주울 열을 이용한 패터닝 방법
9 9
청구항 8에 있어서, 상기 전극 패턴 표면에 코팅막이 형성되어 있는 주울 열을 이용한 패터닝 방법
10 10
청구항 4에 있어서, 상기 전극 패턴으로 상기 도포막에 주울 열로 인가할 때, 상기 전극 패턴과 상기 도포막은 소정의 간격을 유지하는 주울 열을 이용한 패터닝 방법
11 11
청구항 10에 있어서, 상기 플레이트에 형성된 전극 패턴은,스트라이프(Stripe) 형상 또는 연속적으로 이어진 형상으로 형성되어 있는 주울 열을 이용한 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.