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웨이퍼 척 조립체

  • 기술번호 : KST2015205694
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 척 조립체에 관한 것으로서, 상면에 웨이퍼의 직경보다 큰 직경을 갖는 제1환상홈이 마련되고, 상기 제1환상홈의 하부 및 외측에 각각 내설되는 하부전자석 및 제1사이드전자석을 갖는 하부스테이지와; 상기 하부스테이지의 상측에 소정 거리만큼 이격되도록 배치되되, 하면에 상기 제1환상홈과 동일하고 대응되도록 형성되는 제2환상홈이 마련되고, 상기 제2환상홈의 상부 및 외측에 각각 내설되는 상부전자석 및 제2사이드전자석을 갖는 상부스테이지와; N극과 S극이 원주방향을 따라 교대로 배치되는 링형상으로서 상기 제1환상홈 및 상기 제2환상홈 내에 각각 배치되는 하부영구자석 및 상부영구자석과; 웨이퍼 지지편을 각각 구비하여 상기 하부영구자석 및 상부영구자석을 연결하는 복수개의 연결부; 및 전원으로부터 상기 전자석들에 공급되는 전류의 세기 및 방향을 조절하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 척 조립체를 제공한다.웨이퍼 척, 전자석, 영구자석
Int. CL H01L 21/687 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01)
CPC H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1020070089095 (2007.09.03)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0888551-0000 (2009.03.05)
공개번호/일자 10-2009-0023950 (2009.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20090311) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.09.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병삼 대한민국 서울시 강남구
2 조중근 대한민국 서울시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0640659-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0021526-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0459854-21
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0658749-56
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0658752-94
7 등록결정서
Decision to grant
2009.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0093893-52
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
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번호 청구항
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상면에 웨이퍼의 직경보다 큰 직경을 갖는 제1환상홈이 마련되고, 상기 제1환상홈의 하부 및 외측에 각각 내설되는 하부전자석 및 제1사이드전자석을 갖는 하부스테이지;상기 하부스테이지의 상측에 소정 거리만큼 이격되도록 배치되되, 하면에 상기 제1환상홈과 동일하고 대응되도록 형성되는 제2환상홈이 마련되고, 상기 제2환상홈의 상부 및 외측에 각각 내설되는 상부전자석 및 제2사이드전자석을 갖는 상부스테이지; N극과 S극이 원주방향을 따라 교대로 배치되는 링형상으로서 상기 제1환상홈 및 상기 제2환상홈 내에 각각 배치되는 하부영구자석 및 상부영구자석;웨이퍼 지지편을 각각 구비하여 상기 하부영구자석 및 상부영구자석을 연결하는 복수개의 연결부; 및전원으로부터 상기 전자석들에 공급되는 전류의 세기 및 방향을 조절하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 척 조립체
2 2
제 1 항에 있어서,상기 복수개의 연결부는 상기 하부영구자석의 원주방향을 따라 120°간격으로 배치되는 3개로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척 조립체
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는 상기 전자석들에 공급되는 전류의 세기 및 방향을 조절함으로써 상기 복수개의 연결부를 통해 연결된 상기 하부영구자석 및 상부영구자석이 상기 제1환상홈 및 상기 제2환상홈의 내측면으로부터 이격되도록 부양시키거나 부양된 상태로 중심축을 기준으로 회전하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 척 조립체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.