맞춤기술찾기

이전대상기술

기판을 보유하는 척 및 방법

  • 기술번호 : KST2015205703
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판보유척 상에는 웨이퍼의 일면에 가스를 분사하여 웨이퍼를 기판보유척으로부터 부상시키는 적어도 하나의 가스분사구와, 분사된 상기 가스의 일부를 흡입하여 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하는 적어도 하나의 가스흡입구를 포함한다. 가스분사구는 가스흡입구의 둘레에 복수개 형성된다. 기판은 가스분사구로부터 공급되는 가스압력에 의하여 기판보유척으로부터 부상하며, 가스흡입구를 통하여 공급된 가스를 배출하여 기판이 기판보유척으로터 이탈하는 것을 방지한다. 또한, 기판보유척의 상면에는 스토퍼가 제공되며, 스토퍼는 기판보유척으로부터 부상한 기판이 측방향으로 이동하여 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지한다.기판보유척, 기판부상노즐, 가스분사구, 가스흡입구, 스토퍼,
Int. CL H01L 21/687 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) B25J 11/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/68707(2013.01) H01L 21/68707(2013.01) H01L 21/68707(2013.01)
출원번호/일자 1020060110519 (2006.11.09)
출원인 호서대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0887309-0000 (2009.02.27)
공개번호/일자 10-2008-0042295 (2008.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20090415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.09)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김병삼 대한민국 서울 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 오세준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)(특허법인 고려)
2 권혁수 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(삼일빌딩, 역삼동)(KS고려국제특허법률사무소)
3 송윤호 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** (역삼동) *층(삼일빌딩)(케이에스고려국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 호서대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0821014-28
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0516826-90
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0829242-42
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0919711-98
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2008-0047615-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0047614-37
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2008.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0270002-27
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0381227-16
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.05.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2008-0381225-25
10 등록결정서
Decision to grant
2008.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0297743-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.02.24 수리 (Accepted) 4-1-2009-5035913-79
12 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.02.24 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0113070-16
13 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0113852-14
14 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2009.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0015728-77
15 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2009.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0208652-84
16 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2009.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0023620-88
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5143226-24
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-0045360-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 일면에 나란하게 배치되어 상기 기판을 보유하는 기판보유척에 있어서,상기 기판보유척은 상기 기판의 일측을 보유하는 제1 보유부재, 상기 제1 보유부재로부터 이격되며 상기 기판의 타측을 보유하는 제2 보유부재, 및 상기 제1 및 제2 보유부재의 일단을 연결하는 연결부재를 포함하는 핸드; 그리고 상기 연결부재에 일단이 연결되어 상기 핸드를 이동시키는 이송암을 포함하되,상기 기판보유척 상에는 상기 기판의 일면을 향하여 가스를 분사하여 상기 기판을 상기 기판보유척으로부터 부상시키는 적어도 하나의 가스분사구와, 분사된 상기 가스의 일부를 흡입하여 상기 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하는 적어도 하나의 가스흡입구를 포함하는 기판부상노즐이 복수개 제공되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
2 2
제1항에 있어서,상기 가스흡입구의 둘레에는 상기 가스분사구들이 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
3 3
제1항에 있어서,상기 가스흡입구의 둘레에는 환형의 상기 가스분사구가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
4 4
제1항에 있어서,상기 가스분사구의 둘레에는 상기 가스흡입구들이 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 기판부상노즐들은 상기 기판의 중심을 기준으로 동일한 거리에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
6 6
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스분사구의 상단은 상기 기판보유척의 상면보다 돌출되는 것을 특징으로 하는 기판보유척
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 핸드의 상면에는 상기 핸드로부터 부상한 상기 기판이 상기 핸드의 측방향으로 이탈하는 것을 방지하기 위한 스토퍼가 제공되며,상기 스토퍼는 상기 제1 보유부재의 타단에 제공된 제1 스토퍼, 상기 제2 보유부재의 타단에 제공된 제2 스토퍼, 상기 이송암 상에 제공된 제3 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판보유척
9 9
삭제
10 10
기판의 일면과 나란한 기판보유척 상에 가스분사구 및 가스흡입구를 제공하고, 상기 가스분사구를 통하여 상기 기판의 일면에 가스를 공급하여 상기 기판을 상기 기판보유척으로부터 부상시키며, 공급된 상기 가스의 일부를 상기 가스흡입구를 통하여 흡입하여 상기 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하되,상기 가스흡입구는 상기 기판의 중심을 기준으로 동일한 거리에 배치되며,상기 가스분사구는 상기 가스흡입구의 둘레에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판을 보유하는 방법
11 11
기판의 일면과 나란한 기판보유척 상에 가스분사구 및 가스흡입구를 제공하고, 상기 가스분사구를 통하여 상기 기판의 일면에 가스를 공급하여 상기 기판을 상기 기판보유척으로부터 부상시키며, 공급된 상기 가스의 일부를 상기 가스흡입구를 통하여 흡입하여 상기 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하되,상기 기판보유척 상에는 복수의 스토퍼들이 제공되며, 상기 스토퍼들을 이용하여 상기 기판보유척으로부터 부상한 상기 기판이 상기 기판보유척으로부터 이탈하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 기판을 보유하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.