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챔버의 온도를 상승시키는데 사용되는 히터 및 2개의 RF 플라즈마 안테나를 포함하는 퍼니스; 상기 퍼니스의 챔버의 온도를 상승시키는데 사용되는 히터의 동작을 제어하는 히터제어부; 및 RF 전력을 생성하는 RF 전력 공급부와 상기 RF 전력 공급부에서 생성된 RF 전력을 2개의 경로로 분리하여 RF 플라즈마 안테나에 공급하는 RF 분배부를 포함하는 양방향 RF플라즈마 모듈;을 포함하며,상기 2개의 RF 플라즈마 안테나는 상기 퍼니스의 마주 보는 방향에 분리되어 설치되는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 상기 퍼니스는, 상기 2개의 플라즈마 안테나 각각에 RF 전력을 전달하는 2개의 RF 전달부를 더 포함하는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 상기 플라즈마 안테나는 상기 퍼니스의 챔버와 상기 히터의 사이에 설치되는 양방향 RF 플라즈마 모듈을 포함하는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 상기 양방향 RF 플라즈마 모듈은, 상기 퍼니스의 임피던스 변화를 감지하는 RF 센서; 및 상기 임피던스 변화에 대응하여 퍼니스의 임피던스를 조절하는 RF 정합부를 더 포함하는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 양방향 RF 플라즈마 모듈은, RF 분배기로부터 수신한 RF 전력을 상기 2개의 플라즈마 안테나 중 하나의 안테나에 전달하는 제1 RF 전달기와 RF 분배기로부터 수신한 RF 전력을 나머지 하나의 플라즈마 안테나에 전달하는 제2 RF 전달기를 포함하는 RF 전달부를 포함하는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 상기 히터 제어부는, 상기 히터의 온도를 감시하는 히터 온도 센서; 및 상기 히터의 온도를 제어하는 히터 제어기를 포함하는 어닐 시스템
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제1항에 있어서, 상기 2개의 RF 플라즈마 안테나는, 니켈합금인 어닐 시스템
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챔버의 온도를 상승시키는데 사용되는 히터 및 적어도 2개의 RF 플라즈마 안테나를 포함하는 퍼니스; RF 전력을 생성하는 RF 전력공급부, 상기 퍼니스의 임피던스 변화를 감지하는 RF센서, 상기 임피던스 변화에 대응하여 퍼니스의 임피던스를 조절하는 RF 정합부 및 상기 RF 전력 공급부에서 생성된 RF 전력을 2개의 경로로 분리하여 RF 플라즈마 안테나에 공급하는 RF 분배부를 포함하는 양방향 RF 플라즈마 모듈;을 포함하며,적어도 2개의 상기 RF 플라즈마 안테나는 상기 퍼니스의 마주보는 방향에 분리되어 설치되는 어닐 시스템
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제9항에 있어서, 상기 히터의 온도를 감시하고 히터의 온도를 조절하는 히터 제어부를 더 포함하는 어닐 시스템
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제9항에 있어서, 상기 적어도 2개의 RF 플라즈마 안테나는, 니켈합금인 어닐 시스템
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