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옥타(3-아미노프로필)옥타실세스퀴옥세인 옥타하이드로클로라이드(POSS-NH3+) 분말을 제조하는 단계(단계 1);
상기 단계 1에서 제조된 POSS-NH3+ 분말과 팔라듐(II) 아세테이트를 교반하여 실세스퀴옥세인을 포함하는 팔라듐 나노입자(Pd-POSS)를 제조하는 단계(단계 2);
다중벽 탄소나노튜브를 산처리하는 단계(단계 3);
상기 단계 3에서 산처리된 다중벽 탄소나노튜브(MWNT-COOH)를 탈이온 증류수에 균일하게 분산시켜 분산액을 제조하는 단계(단계 4);
상기 단계 4에서 제조된 분산액에 아민 기능화된 기판을 침적시켜 상기 기판 상에 산처리된 다중벽 탄소나노튜브(MWNT-COOH)를 증착시키는 단계(단계 5); 및
상기 단계 5에서 산처리된 다중벽 탄소나노튜브(MWNT-COOH)가 증착된 기판을 상기 단계 2에서 제조된 실세스퀴옥세인을 포함하는 팔라듐 나노입자(Pd-POSS)를 혼합한 용액에 침적시켜 이온결합에 의해 산처리된 다중벽 탄소나노튜브에 실세스퀴옥세인을 포함하는 팔라듐 나노입자를 결합시킴으로써 기판 상에 나노복합체를 형성하는 단계(단계 6)
를 포함하는 실세스퀴옥세인을 포함한 팔라듐 나노입자와 탄소나노튜브의 자기조직화에 의한 나노복합재료의 제조방법
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2
제1항에 있어서,
상기 단계 1에서 옥타(3-아미노프로필)옥타실세스퀴옥세인 옥타하이드로클로라이드(POSS-NH3+) 분말은 메탄올 내에서 아미노프로필트리에톡시실란과 농축 염산을 반응시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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3
제1항에 있어서,
상기 단계 2에서 제조된 실세스퀴옥세인을 포함하는 팔라듐 나노입자(Pd-POSS)의 평균 입경은 40～60 nm 범위를 나타내는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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4
제1항에 있어서,
상기 단계 2에서 제조된 실세스퀴옥세인을 포함하는 팔라듐 나노입자(Pd-POSS)에서 POSS-NH3+의 함량은 40 내지 50 중량%인 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 3에서 다중벽 탄소나노튜브는 질산과 황산의 혼합용액 내에서 교반하여 산처리되는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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제5항에 있어서,
상기 질산과 황산의 혼합용액은 질산과 황산을 1:3의 부피비율로 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 단계 4에서 탈이온 증류수에 분산되는 다중벽 탄소나노튜브의 함량은 0
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8
제1항에 있어서,
상기 단계 4에서 다중벽 탄소나노튜브의 길이는 0
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9
제1항에 있어서,
상기 아민 기능화된 기판은 실리콘 웨이퍼를 초음파 분쇄기를 사용하여 클로로포름으로 세정하는 단계; 상기 세정된 실리콘 웨이퍼를 피라냐(piranha) 세정 후 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 플라즈마 처리된 웨이퍼를 N-(2-아미노에틸)-11-아미노운데실트리메톡시실란이 포함된 에탄올 용액에 침적시키는 단계를 거쳐 제조되는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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10
제1항에 있어서,
상기 단계 3에서 단층벽 탄소나노튜브(SWNT)를 산처리한 후, 이를 사용하는 것을 특징으로 하는 나노복합재료의 제조방법
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