| 1 |
1
스테이지;상기 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동 스테이지;상기 이동 스테이지 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 시편이 고정되는 시편 고정 테이블;상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 및 경도 조절이 가능하고 상기 시편으로 레이저 광을 조사하는 광원 유닛; 및상기 스테이지 상에 배치되며, 위도 조절이 가능하고, 시편에서 산란되는 산란광을 취득하는 영상 취득 유닛을 포함하고,상기 이동 스테이지는,상기 스테이지 상에 설치되며, X축 가이드 홈이 형성되는 X축 가이드 테이블과,상기 X축 가이드 테이블 상에 배치되며, 상기 X축 가이드 홈에 끼워지는 가이드 돌기를 구비하여 X축을 따라 이동되고, 상단부에 Y축을 따르는 볼 스크루를 갖는 Y축 가이드 테이블과,상기 Y축 가이드 테이블에 배치되며, 하단이 상기 볼 스크루와 스크루 체결되어 Y축을 따라 유동 가능하고, 상기 시편 고정 테이블이 고정되는 Y축 이동 테이블을 구비하고,상기 시편 고정 테이블은,상기 Y축 이동 테이블 상에 설치되며, 상단에 Y축 선 상에서 하방으로 오목한 제 1곡면 경로홈이 형성되는 제 1시편 고정 테이블과,상기 제 1곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 1곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되고, 상단에 X축 선 상에서 하방으로 오목한 제 2곡면 경로홈이 형성되는 제 2시편 고정 테이블과,상기 제 2곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 2곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되는 제 3시편 고정 테이블과,상기 제 3시편 고정 테이블의 상단에 배치되며, 상기 제 3시편 고정 테이블의 중심에서 회전 가능하고, 상단에 시편이 고정되는 시편 고정대를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 제 1시편 고정 테이블에는,상기 제 1곡면 경로홈에서 유동되는 제 2시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 1고정 볼트가 설치되고,상기 제 2시편 고정 테이블에는,상기 제 2곡면 경로홈에서 유동되는 제 3시편 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 2고정 볼트가 설치되는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 영상 취득 유닛은,상기 이동 스테이지를 에워싸도록 상기 스테이지의 중심으로부터 일정 반경을 이루는 반원 형상의 이동 경로부와,상기 이동 경로부를 따라 이동되도록 직립되어 배치되는 제 1고정 프레임과,상기 제 1고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 1반원 각도 부재와,일단이 상기 제 1반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 1가동 프레임과,상기 제 1가동 프레임의 타단에 설치되며, 시편으로부터 산란되는 광을 측정하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서,상기 제 1가동 프레임의 단부에는, 상기 제 1가동 프레임의 회전 방향과 교차되는 방향을 따르는 보조 볼 스크루가 설치되는 직각 프레임을 구비하고,상기 카메라는 상기 보조 볼 스크루에 스크루 체결되어 상기 교차되는 방향을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
| 7 |
7
제 5항에 있어서,상기 이동 경로부는, 한 쌍의 이동 경로홈이고,상기 제 1고정 프레임의 하단에는 상기 각 이동 경로홈을 관통하는 한 쌍의 가이드 로드가 형성되고,상기 제 1고정 프레임의 측부에는 상기 이동 경로부 근방의 스테이지 상면에 선택적으로 밀착되는 스크루 볼트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서,상기 광원 유닛은,상기 영상 취득 유닛의 맞은 편에 배치되도록 상기 스테이지 상에 직립되어 배치되는 제 2고정 프레임과,상기 제 2고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 2반원 각도 부재와,일단이 상기 제 2반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 시편 고정 테이블 상부에 위치되는 제 2가동 프레임과,상기 제 2가동 프레임의 타단에 설치되며, 상외부로부터 전원을 인가 받아 레이저 광을 외부로 조사하는 레이저 소스를 구비하는 것을 특징으로 하는 시편 검사 장치
|
