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표면 검사용 조명 장치

  • 기술번호 : KST2015205876
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 표면 검사용 조명 장치를 제공한다. 상기 표면 검사용 조명 장치는 내부 공간을 이루고, 일측에 노출홀이 형성되는 케이스와; 상기 케이스의 내부에 배치되며, 서로 다른 광축을 이루는 광을 노출홀로 출사하는 조명부; 및 상기 광축의 위치를 가변하는 위치 가변부를 포함한다.
Int. CL F21V 14/02 (2006.01.01) F21V 17/02 (2016.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 21/956 (2006.01.01) F21Y 115/10 (2016.01.01)
CPC F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01) F21V 14/02(2013.01)
출원번호/일자 1020110044457 (2011.05.12)
출원인 한국교통대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1182212-0000 (2012.09.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120912) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.12)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국교통대학교산학협력단 대한민국 충청북도 충주시 대

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경범 대한민국 충청북도 충주시
2 김종준 대한민국 경기도 평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국교통대학교산학협력단 충청북도 충주시 대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0350442-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2012-5050068-93
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0024390-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0343279-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0589322-06
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0589321-50
8 등록결정서
Decision to grant
2012.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0519070-67
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.08.09 수리 (Accepted) 4-1-2013-0036542-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2020-5039896-32
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부 공간을 이루고, 일측에 노출홀이 형성되는 케이스;상기 케이스의 내부에 배치되며, 서로 다른 광축을 이루는 광을 노출홀로 출사하는 조명부; 및상기 광축의 위치를 가변하는 위치 가변부를 포함하고,상기 조명부는,주광 축을 이루어 노출홀로 주광을 출사하는 주광 부;상기 주광 부의 인근에 배치되며, 보조광 축을 이루어 노출홀을 통해 상기 노출홀의 저부에 위치되는 검사체로 보조광을 발산하는 보조광 부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 주광 부는, 서로 다른 파장 대역을 이루는 다수의 제 1발광 소자를 포함하고,상기 보조광 부는, 서로 다른 파장 대역을 이루는 다수의 제 2발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 제 1발광 소자들은,상기 주광 부의 길이 방향을 따라 파장 대역 별로 구획된 영역을 이루고,상기 제 2발광 소자들은,상기 보조광 부의 길이 방향을 따라 파장 대역 별로 구획된 영역을 이루는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
5 5
제 4항에 있어서,상기 제 1발광 소자들과 상기 제 2발광 소자들 각각은,레드(Red) 발광 소자들과 그린(Green) 발광 소자들과 블루(Blue) 발광 소자들을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
6 6
제 3항에 있어서,상기 노출홀에서, 상기 주광 축과 보조광 축의 초점이 형성되고,상기 주광 부와, 상기 보조광 부는,상기 초점을 중심으로 일정 반경을 이루는 원주 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
7 7
제 6항에 있어서,상기 위치 가변부는,상기 보조광 부를 상기 원주 상을 따라 이동시켜 상기 보조광 축의 위치를 가변하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
8 8
제 7항에 있어서,상기 위치 가변부는,상기 보조광 부가 위치되는 상기 케이스의 양측부에 상기 원주 상을 따르도록 형성되는 일정 길이의 가이드 홀과,상기 보조광 부의 양단에 상기 가이드 홀을 관통하도록 형성되는 돌기와,상기 케이스에 설치되며, 외력을 제공 받아 상기 돌기를 상기 가이드 홀을 따라 이동시키는 이동 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
9 9
제 8항에 있어서,상기 이동 유닛은,상기 케이스 외측에서, 상기 돌기와 스크루 체결되는 너트인 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
10 10
제 8항에 있어서,상기 이동 유닛은,신축 가능한 축을 갖는 실린더이고,상기 축의 단부는 상기 돌기와 힌지 연결되고,상기 실린더의 단부는 상기 가이드 홀로부터 일정 거리 이격되는 위치의 케이스의 외면부에 힌지부에 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
11 11
제 8항에 있어서,상기 조명 장치는, 조명 제어부를 더 구비하되,상기 조명 제어부는,상기 제 1발광 소자들과 상기 제 2발광 소자들의 파장값, 칼라값, 파워값을 제어하는 발광 소자 제어기와,상기 이동 유닛의 작동을 제어하는 이동 유닛 구동기와,상기 제 1발광 소자들과 상기 제 2발광 소자들의 설정 파장값들, 설정 칼라값들, 설정 파워값들 및 상기 설정 파장값들, 설정 칼라값들, 설정 파워값들 각각에 상응하는 상기 보조광 부의 위치값들이 기설정되는 저장기와,상기 설정 파장값들, 설정 칼라값들, 설정 파워값들로 이루어지는 조건들 중 어느 하나를 선택하는 선택기와,상기 저장기와 전기적으로 연결되며, 선택하는 상기 설정 파장값들, 설정 칼라값들, 설정 파워값들 중 어느 하나에 해당되도록 상기 발광 소자 제어기와, 상기 이동 유닛 구동기의 작동을 제어하는 메인 제어기를 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
12 12
제 11항에 있어서,상기 조명 제어부는 입력기를 더 구비하되,상기 입력기는, 상기 메인 제어기와 전기적으로 연결되며,상기 제 1발광 소자들 및 상기 제 2발광 소자들 각각의 파장값, 칼라값, 파워값 각각에 상응하는 상기 보조광 부의 위치값을 상기 저장기에 입력하는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
13 13
제 8항에 있어서,상기 보조광 부는,상기 주광 부 인근에 서로 마주보도록 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
14 14
제 13항에 있어서,상기 이동 유닛은,상기 한 쌍의 보조광 부를 동시에 이동시키는 것을 특징으로 하는 표면 검사용 조명 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 충주대학교 산학연협력사업 태양전지 제조공정혁신을 위한 광학스캐닝 메커니즘 기반 결정질 실리콘 웨이퍼 검사장치 개발