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검사체가 안착되는 안착부;상기 검사체로 라만 레이저 광을 조사하는 광원부;상기 검사체에서 산란되는 산란광을 검출하는 광 검출부; 및상기 광 검출부와 전기적으로 연결되며, 상기 검출되는 산란광으로부터 라만 스펙트럼 및 라만 시프트를 측정하고, 상기 측정되는 라만 시프트를 결함 종류 별로 이를 기설정되는 다수의 결함 판별 라만 시프트와 비교하여, 검사체의 결함 여부 및 결함의 종류를 판단하는 결함 판별부를 포함하고,상기 안착부는,베이스 상에 배치되며, 사방으로 이동 가능한 이동부와,상기 이동부 상에 배치되며, 사방으로 스위블 이동 가능하고, 검사체가 고정되는 검사체 고정 테이블을 구비하고,상기 이동부는,상기 베이스 상에 설치되며, X축 가이드 홈이 형성되는 X축 가이드 테이블과,상기 X축 가이드 테이블 상에 배치되며, 상기 X축 가이드 홈에 끼워지는 가이드 돌기를 구비하여 X축을 따라 이동되고, 상단부에 Y축을 따르는 볼 스크루를 갖는 Y축 가이드 테이블과,상기 Y축 가이드 테이블에 배치되며, 하단이 상기 볼 스크루와 스크루 체결되어 Y축을 따라 유동 가능하고, 상기 검사체 고정 테이블이 고정되는 Y축 이동 테이블을 구비하고,상기 검사체 고정 테이블은,상기 Y축 이동 테이블 상에 설치되며, 상단에 Y축 선 상에서 하방으로 오목한 제 1곡면 경로홈이 형성되는 제 1검사체 고정 테이블과,상기 제 1곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 1곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되고, 상단에 X축 선 상에서 하방으로 오목한 제 2곡면 경로홈이 형성되는 제 2검사체 고정 테이블과,상기 제 2곡면 경로홈에 배치되며, 상기 제 2곡면 경로홈을 따라 스위블 이동되는 제 3검사체 고정 테이블과,상기 제 3검사체 고정 테이블의 상단에 배치되며, 상기 제 3검사체 고정 테이블의 중심에서 회전 가능하고, 상단에 검사체가 고정되는 검사체 고정대를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 결함 판별부는,상기 산란광으로부터 상기 라만 스펙트럼 및 상기 라만 시프트를 측정하는 측정부와,상기 다수의 결함 판별 라만 시프트가 저장되는 저장부와,상기 측정부로부터 상기 측정된 라만 시프트를 전송받아, 상기 측정된 라만 시프트가 상기 기설정되는 다수의 결함 판별 라만 시프트 중 어느 하나에 포함되는 지의 여부를 판단하는 판단부와,상기 판단부와 전기적으로 연결되며, 상기 측정된 라만 시프트가 포함되는 결함 판별 라만 시프트에 해당되는 결함 유무 및 결함 종류를 가시적으로 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 2항에 있어서,상기 다수의 결함 판별 라만 시프트는,다수의 검사체 각각의 형성 물질 종류에 따라 그룹핑 되는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 3항에 있어서,상기 저장부는,상기 다수의 검사체 각각의 형성 물질 종류에 따라 그룹핑되는 다수의 결함 판별 라만 시프트를 더 포함하고,상기 판단부는,상기 측정된 라만 시프트가 포함되는 결함 판별 라만 시프트의 형성 물질의 종류를 판단하고,상기 표시부는,상기 판단된 형성 물질의 종류를 가시적으로 표시하는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1검사체 고정 테이블에는,상기 제 1곡면 경로홈에서 유동되는 제 2검사체 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 1고정 볼트가 설치되고,상기 제 2검사체 고정 테이블에는,상기 제 2곡면 경로홈에서 유동되는 제 3검사체 고정 테이블의 외주를 조여 이동 위치를 고정하는 제 2고정 볼트가 설치되는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 광 검출부는,상기 이동부를 에워싸도록 상기 베이스의 중심으로부터 일정 반경을 이루는 반원 형상의 이동 경로부와,상기 이동 경로부를 따라 이동되도록 직립되어 배치되는 제 1고정 프레임과,상기 제 1고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 1반원 각도 부재와,일단이 상기 제 1반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 검사체 고정 테이블 상부에 위치되는 제 1가동 프레임과,상기 제 1가동 프레임의 타단에 설치되며, 검사체로부터 산란되는 광을 측정하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 광원부는,상기 광 검출부의 맞은 편에 배치되도록 상기 베이스 상에 직립되어 배치되는 제 2고정 프레임과,상기 제 2고정 프레임의 상단에 설치되는 판상의 제 2반원 각도 부재와,일단이 상기 제 2반원 각도 부재의 중심에 힌지 연결되고, 타단이 상기 검사체 고정 테이블 상부에 위치되는 제 2가동 프레임과,상기 제 2가동 프레임의 타단에 설치되며, 상외부로부터 전원을 인가 받아 라만 레이저 광을 검사체로 조사하는 라만 레이저 광소스를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사체 표면 결함 검사 장치
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