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웨이퍼 검사장치 및 웨이퍼 검사방법

  • 기술번호 : KST2015206048
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광원을 웨이퍼에 조사하여 웨이퍼의 표면 결함을 검출할 수 있도록 하는 웨이퍼 검사 장치 및 웨이퍼 검사 방법에 관한 것으로,상기 웨이퍼 검사장치는, 빛을 생성하여 조사하는 광원부; 상기 광원부에 의해 조사되는 빛을 검사대상 웨이퍼로 조사하도록 반사시키는 반사부; 및 상기 웨이퍼의 면 중 상기 빛이 조사된 면의 반대면을 촬영하는 촬상부;를 포함하여 구성되어,웨이퍼 상의 결함유무, 결함위치, 결함의 규격 또는 결함의 형태 중 하나 이상을 정확하게 검출할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140147348 (2014.10.28)
출원인 한국교통대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1564287-0000 (2015.10.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20151029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국교통대학교산학협력단 대한민국 충청북도 충주시 대

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경범 대한민국 충청북도 충주시 대

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국교통대학교산학협력단 대한민국 충청북도 충주시 대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1034317-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0038077-03
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0556468-40
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-0842192-84
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0842193-29
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0719197-06
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2020-5039896-32
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
빛을 생성하여 조사하는 광원부;상기 광원부에 의해 조사되는 빛을 검사대상 웨이퍼로 조사하도록 반사시키는 반사부; 및상기 웨이퍼의 면 중 상기 빛이 조사된 면의 반대면을 촬영하는 촬상부;를 포함하고,각각의 조사방향에 따라 촬영된 상기 웨이퍼의 개별적 이미지들이 합성된 전체조사각합성이미지를 이용하여 결함의 위치를 검출하고,상기 빛의 조사방향에 따라 촬영된 상기 웨이퍼의 개별적인 이미지를 이용하여 결함의 규격 또는 결함의 형태 중 하나 이상을 검출하는 결함검출부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 반사부는,상기 웨이퍼로 조사되는 빛의 조사각을 가변시킬 수 있도록 반사경이 회전 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 촬상부는,상기 반사부에 의해 복수의 각도로 상기 웨이퍼에 입사되어 투과된 빛을 개별적 또는 중첩 찰영하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치
4 4
삭제
5 5
광원부에서 조사되는 빛을 일정 각도별로 반사부를 회전시켜 웨이퍼에 조사한 후, 빛이 조사되는 웨이퍼 면의 반대면을 촬영하는 조사각변경 촬영과정;상기 조사각별로 촬영된 이미지를 합성하여 전체조사각합성이미지를 생성한 후 결함의 위치를 검출하는 전체조사각합성이미지분석과정; 및상기 전체조사각합성이미지분석과정에서 결함이 검출된 경우 조사각별로 이미지를 분석하여 결함의 규격 또는 결함의 형태 중 하나 이상을 검출하는 개별조사각이미지분석과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국교통대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(지역대학우수과학자지원사업) 근적외선 검사광학계기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙의 지능형 검출 및 분류 모듈 개발