복사기, 레이저 프린터, 팩시밀리 등의 전자복사기기에 적용되는 오피씨드럼(Organic PhotoConductor drum)을 구성함에 있어,

상기 오피씨드럼의 표면에 내측에서부터 도전성지지체, 오피씨층 및 오피씨층이 외부와 직접 접촉하지 않도록 오피씨층(14)을 둘러싸서 보호하는 형상의 디엘씨(Diamond-Like Carbon)코팅막이 형성되고,

상기 도전성지지체는, 알루미늄계열이나 니켈 등의 금속 알루미노 증착 폴리에스터 층이며, 상기 오피씨층은 씨티엘(CTL), 씨지엘(CGL), 유엘(UL) 등 유기고분자수지나 유기 안료수지, 수지(도전성 첨가물)의 재질로 복합구성되어 유기 감광체를 재질로 제작되는 층이고, 상기 디엘씨코팅막은, 다이아몬드계 탄소를 주로 하여 흑연계 탄소가 혼합되어 있는 비정질 탄소체로서, 비저항이 1010 내지 1013 Ωcm 수준인 보호막인 것을 특징으로 하는 오피씨드럼

제 1항에 있어서, 코팅막의 경도와 광투과도 및 잔류전위를 고려하여 코팅막의 두께를 약 0

오피씨드럼을 디엘씨코팅하는 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치를 구성함에 있어,

플라즈마상태로 애노드를 벗어나 케소드로 이동하는 주가스나 보조가스의 이온들이 자장을 통과하면서 가속되어 상기 오피씨드럼에 빨리 증착되도록 내부에 자장형성수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치

제 3항에 있어서, 상기 자장형성수단은, 상기 원거리 디씨 플라즈마 화학기상증착의 케소드(음극) 근처에 설치되는 형상의 영구자석인 것을 특징으로 하는 오피씨드럼의 디엘씨코팅장치

화학기상증착설비에 오피씨드럼을 로딩하고, 설비 내부에 주가스와 보조가스를 공급하는 준비단계;

상기 준비단계에서 주가스로 CH4를 사용하고, 보조가스로 O2를 사용하며, 상기 주가스에 대한 보조가스의 가스조성 원자백분율(Atomic percentage; at

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제 5항에 있어서, 상기 코팅단계에서 플라즈마상태로 애노드를 벗어나 케소드로 이동하는 주가스와 보조가스의 이온들이 가속되도록 설비 내부에 자장을 형성하고, 이때의 공정조건의 범위는 대략, 기저진공(Base vacuum)이 1×10-5 내지 1×10-4 torr, 이때 사용된 CH4의 유속(flow rate)이 10 내지 40 sccm, O2의 유속이 2 내지 20 sccm, 압력이 5×10-2 내지 5×10-1 torr, O2/CH4의 가스비가 0

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