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제1 면에 제1 절연층이 형성된 제1 실리콘 기판을 마련하는 단계;제1 면에 제2 절연층이 형성된 제2 실리콘 기판을 마련하는 단계;상기 제2 절연층을 패터닝하여 상기 제2 실리콘 기판의 제1 면 상에 센서 영역에 대응하여 공동부를 형성하는 단계;상기 제1 실리콘 기판의 상기 제1 면과, 상기 제2 실리콘 기판의 상기 제1 면이 마주하도록 접합하는 단계; 상기 제2 실리콘 기판의 제2면을 패터닝하여 복수 개의 실리콘 비아 전극을 형성하는 단계;상기 제2 실리콘 기판의 제2 면 상에 붕소가 함유된 유리 기판을 접합하는 단계;상기 유리 기판의 열처리를 통해 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극의 주변 영역을 충진시키는 단계;상기 유리 기판을 포함한 상기 제2 실리콘 기판을 연마하고, 형성될 센서 박막에 대응하는 두께로 상기 제1 실리콘 기판의 제2 면을 연마하는 단계;상기 제2 실리콘 기판의 제2 면을 통해 노출된 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극에 전극층을 형성하는 단계; 상기 센서 영역을 제외하여 상기 제1 실리콘 기판, 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층을 식각함으로써 센서 박막을 형성하고, 상기 제2 실리콘 기판의 제1 면을 통해 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극 중 적어도 하나의 실리콘 비아 전극을 노출시키는 단계; 및상기 제2 실리콘 기판의 제1 면을 통해 노출된 적어도 하나의 실리콘 비아 전극에서 상기 센서 박막의 일 영역까지 연장된 센서 전극을 형성하는 단계를 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 실리콘 기판의 제1 면과 상기 센서 박막 상에 실리콘 산화막을 형성하는 단계;상기 실리콘 산화막을 패터닝하여 상기 제2 실리콘 기판의 제1 면을 통해 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극을 노출시키는 단계; 및 상기 실리콘 산화막 및 상기 노출된 복수 개의 실리콘 비아 전극 상에 정전기 차폐를 위한 차폐 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 공동부를 형성하는 단계는,상기 공동부의 적어도 일 측에 공기가 드나들 수 있는 통로가 형성되도록 상기 제2 절연층을 패터닝하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 실리콘 기판의 상기 제1 면과, 상기 제2 실리콘 기판의 상기 제1 면이 마주하도록 접합하는 단계는,75℃ 내지 90℃의 온도를 갖는 RCA 세정 용액을 이용하여 상기 제1 실리콘 기판 및 상기 제2 실리콘 기판을 세정하는 단계; 및상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층 각각의 표면을 산소 플라즈마 처리하는 단계; 및상기 제1 실리콘 기판의 제1면과 상기 제2 실리콘 기판의 제1면을 접합시켜 270℃ 내지 330℃의 온도로 열처리하는 단계를 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 실리콘 비아 전극을 형성하는 단계는, 상기 제2 실리콘 기판의 제2 면 상에 알루미늄막을 증착하는 단계;리프트 오프 방법으로 상기 알루미늄막을 패터닝하여 식각 마스크를 형성하는 단계;상기 식각 마스크를 통해 노출된 상기 제2 실리콘 기판의 제2 면을 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 방법으로 식각하여 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극을 형성하는 단계; 및SPM 세정 용액을 이용하여 상기 식각 마스크를 세정하여 상기 제2 실리콘 기판으로부터 제거하는 단계를 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 전극층을 형성하는 단계는, 상기 제2 실리콘 기판의 제2 면 상에 알루미늄막을 증착하는 단계; 및리프트 오프 방법으로 상기 알루미늄막을 패터닝하는 단계를 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 실리콘 기판의 제1 면을 통해 상기 복수 개의 실리콘 비아 전극을 노출시키는 단계는, 상기 제1 실리콘 기판의 제2 면 상에서 상기 센서 영역을 제외한 영역을 노출시키는 폴리머 패턴을 형성하는 단계;상기 폴리머 패턴을 통해 노출된 상기 제1 실리콘 기판을 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 방법으로 식각하는 단계; 및상기 제1 실리콘 기판이 식각된 영역을 통해 노출된 상기 제1 절연층 및 상기 제2 절연층을 식각하는 단계를 포함하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 센서 전극을 형성하는 단계는, 상기 제2 실리콘 기판의 제1 면을 통해 노출된 적어도 하나의 실리콘 비아 전극에서 상기 센서 박막의 일 영역까지 스퍼터링 방법으로 금(Au)을 증착하는 정전용량형 MEMS 압력 센서의 제조 방법
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