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나노 공간분해능을 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치

  • 기술번호 : KST2015207927
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT; COMPUTED TOMOGRAPHY) 장치에 관한 것으로, 세포 및 미소 조직과 같은 바이오 시료 혹은 반도체 칩과 같은 산업용 고체 시료의 두께를 100㎛ 이하로 제한하면서 존 플레이트(zone plate)와 같이 100배 이상의 배율을 가지는 회절 광학소자로 시료를 통과한 X-선을 100배 이상의 고배율로 확대, 집광하여 생성한 2차원 영상으로부터 100nm 이하의 나노 공간분해능를 갖는 3차원 영상을 얻을 수 있다. 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치를 이용하면, 종래의 원뿔형 광원부를 포함하는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)로는 관찰이 불가능한 두께 100㎛ 이하의 바이오 시료 및 산업용 고체 시료의 3차원 영상을 100nm 이하의 나노 공간분해능으로 얻을 수 있으며, 그 결과 시료의 내부 구조물(예컨대, 반도체 칩의 내부 단락 등) 검사에 매우 유용하다. 컴퓨터 단층 촬영, CT, 모세관 광학소자, 회절 광학소자, 다층박막 거울
Int. CL B82Y 99/00 (2011.01) A61B 6/03 (2011.01)
CPC A61B 6/032(2013.01) A61B 6/032(2013.01) A61B 6/032(2013.01) A61B 6/032(2013.01)
출원번호/일자 1020080125831 (2008.12.11)
출원인 원광대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0067326 (2010.06.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 원광대학교산학협력단 대한민국 전라북도 익산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 천권수 대한민국 서울 중랑구
2 윤권하 대한민국 전북 익산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정세성 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로 ****, ***호 특허법인이노 제*분사무소 (서초동, 보성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0853268-71
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0862708-70
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0237499-23
4 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0553812-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000035-11
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5003340-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.09.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5117489-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5075701-65
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번호 청구항
1 1
X-선 튜브 광원을 이용해서 X-선을 발생하는 광원부(210)와; 상기 광원부(210)로부터 일정 각도로 방출되는 X-선을 수직 또는 수평 방향으로 제한하는 콜리메이터(collimator; 220); 브래그(Bragg) 반사조건에 따른 특정 브래그 각도로 정렬된 다층박막 거울을 이용하여 상기 콜리메이터(220)를 통과한 다색의 빔(polychromatic beam)을 포함하는 X-선을 반사시켜 단색 특성 X-선(characteristic x-ray)만을 추출하는 모노크로메이터(monochromator; 230); 상기 모노크로메이터(230)에서 추출되는 단색 특성 X-선을 집광하여 시료(S)에 조사하는 모세관 광학소자(capillary optic; 240); 상기 모세관 광학소자(240)의 앞단에 설치되어 상기 모세관 광학소자(240)의 내부 벽에 반사되지 않고 직접 통과하는 X-선을 방지하는 스토퍼(stoper; 240a); 병진, 기울임 및 회전이 가능한 스테이지(251) 위에 장착된 모세관(252)이나 시료 홀더(252a)에 관찰하려는 시료(S)를 고정하는 시료 스테이지(250,250a); 상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정된 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 검출하여 생성할 시료(S)의 2차원 영상을 특정 배율로 확대할 수 있도록 상기 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 확대하여 집광하는 회절 광학소자(260); 상기 회절 광학소자(260)에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하는 영상 검출부(270); 및 상기 영상 검출부(270)에서 생성한 2차원 영상들을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성하는 영상 처리부(280); 로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 회절 광학소자(260)는 존 플레이트(zone plate)인 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 시료 스테이지(250,250a)의 상기 모세관(252)에는 바이오 시료(S)가 넣어져 고정되고, 상기 시료 홀더(252a)에는 산업용 고체 시료(S)가 올려져 고정되는 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.