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이종 접합 계면에서 생성된 2차원 전자 가스의 전기전도도 제어 방법

  • 기술번호 : KST2015208409
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 TiO2-말단처리된 SrTiO3 기판 제조 단계, 및 상기 TiO2-말단처리된 SrTiO3 기판에 LaAlO3 박막을 증착시키는 단계를 포함하는 LaAlO3/SrTiO3 계면에서 발생된 2차원 전자 가스의 전기전도도 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 90°Off axis RF-sputtering 증착 방법을 이용하여 다결정 LaAlO3 타겟을 이용하여 SrTiO3 기판에 비정질 LaAlO3 박막을 형성할 수 있으며, 상기 LaAlO3/SrTiO3 계면에서 전기전도도가 우수한 2차원 전자 가스를 효과적으로 제조할 수 있다. 상기 제조된 LaAlO3 박막은 거리 범위에 관계없이 전기적 특성(전기전도도)을 가지며, 상기 LaAlO3 박막을 열처리시킨 후 산소 환경에서도 전도성을 유지하는 효과를 나타내었다. 또한, 본 발명에 따른 방법을 이용하는 경우, 전자 소자 분야에 적용할 수 있도록 대면적 증착이 가능한 효과를 가지며, 이는 종래 PLD나 ALD 기술이 가진 소면적 증착법의 한계를 해결할 수 있는 획기적인 방법이다.
Int. CL H01L 29/778 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 29/66 (2006.01)
CPC H01L 29/66431(2013.01) H01L 29/66431(2013.01) H01L 29/66431(2013.01)
출원번호/일자 1020150018749 (2015.02.06)
출원인 가천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1547600-0000 (2015.08.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150828) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.06)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정웅 대한민국 서울특별시 관악구
2 김도현 대한민국 인천광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이수찬 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엡실론 주식회사 경기도 성남시 중원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0130522-03
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0189012-90
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2015.03.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.03.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0014602-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0381637-11
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0614135-55
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0614136-01
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0455545-77
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-0659751-58
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0659804-80
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.07.08 무효 (Invalidation) 1-1-2015-0659750-13
12 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0698835-43
13 보정요구서
Request for Amendment
2015.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0116562-83
14 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2015.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0117338-30
15 등록결정서
Decision to grant
2015.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0558273-91
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번호 청구항
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TiO2-말단처리된 SrTiO3 기판 제조 단계, 상기 TiO2-말단처리된 SrTiO3 기판에 비정질(Amorphous)의 LaAlO3 박막을 RF 전력 30~80W에서 불활성 가스100~150 mTorr의 부분압을 이용하여 150~250℃ 의 기판 온도에서 증착시키는 단계를 포함하되, 상기 증착된 LaAlO3/SrTiO3 박막의 계면은 200~400℃ 에서 열처리 후(산소 공극 제거)에도 전기전도도를 가지는 2차원 전자 가스의 전기전도도 제어 방법
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