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기판;상기 기판 위에 형성된 FePt 박막층; 및상기 FePt 박막층 위에 형성된 γ-Fe2O3, 지르코니아, 이트리아, 및 산화이트륨 안정화 지르코니아(YSZ)로 이루어진 군에서 선택된 1종의 나노입자를 포함하는 나노입자 단층막을 포함하는 나노입자를 포함하는 복합 박막
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제1항에 있어서, 상기 FePt 박막층의 두께는 3 nm 이하인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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제1항에 있어서, 상기 나노입자의 입경은 11 nm 이하인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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제1항에 있어서, 상기 나노입자 단층막은 랑뮤어-블로젯(Langmuir-Blodgett: LB) 박막인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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기판을 제공하는 단계;상기 기판 위에 FePt를 포함하는 박막층을 스퍼터링을 통해 증착하는 단계; 및상기 박막층 위에 γ-Fe2O3, 지르코니아, 이트리아, 및 산화이트륨 안정화 지르코니아(YSZ)로 이루어진 군에서 선택된 1종의 나노입자를 포함하는 나노입자 단층막을 형성하는 단계를 포함하는 제1항에 따른 복합 박막 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 스퍼터링은 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 박막 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 스퍼터링 이후 증착된 FePt 박막층을 어닐링하는 것을 특징으로 하는 복합 박막 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 나노입자 단층막은 랑뮤어-블로젯(Langmuir-Blodgett: LB) 방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 복합 박막 제조방법
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