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박막 형성 방법 및 발광소자

  • 기술번호 : KST2015208838
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 박막 형성 방법은 AlN이 도핑된 ZnO 타겟을 스퍼터링 증착 챔버에 로딩한 후, 기판을 로딩하는 단계 및 상기 타겟에 전원을 인가하여 상기 기판 상에 AlN이 도핑된 ZnO 박막을 형성하는 단계를 포함한다. 따라서, 본 발명의 실시예에 의하면 AlN이 도핑된 ZnO 타겟을 이용하여 스퍼터링 방법으로 기판 상에 AlN이 도핑된 ZnO 박막을 형성함으로써, 막질 및 전기적 특성이 우수한 ZnO 박막을 형성할 수 있다. 또한, AlN이 도핑된 ZnO 박막을 발광소자의 투명 전극으로 이용함으로써, 발광소자의 발광 효율 및 수명을 향상시킬 수 있다. AlN, 도핑, ZnO, p형 반도체
Int. CL H01L 33/02 (2014.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020090106387 (2009.11.05)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1040539-0000 (2011.06.03)
공개번호/일자 10-2011-0049389 (2011.05.12) 문서열기
공고번호/일자 (20110616) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.05)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 채리안 인도 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0680496-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0025970-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0160927-25
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0384433-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0384431-32
7 등록결정서
Decision to grant
2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0289931-44
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
ZnO 파우더와 AlN 파우더를 마련하고, 볼을 가지는 콘테이너를 이용하여 상기 ZnO 파우더와 AlN 파우더를 혼합하는 과정; 상기 ZnO 파우더와 AlN 파우더가 혼합된 파우더를 수압 펠렛 프레서(hydraulic pellet presser)로 성형하여 디스크 형상으로 제조하고, 800℃ 내지 1000℃의 퍼니스에서 5시간 내지 7시간 소결하여 ZnO에 AlN이 0
2 2
ZnO 파우더와 AlN 파우더를 마련하고, 볼을 가지는 콘테이너를 이용하여 상기 ZnO 파우더에 AlN 파우더가 0
3 3
청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 타겟은 ZnO에 AlN이 0
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 기판을 300℃ 내지 600℃로 유지하는 박막 형성 방법
7 7
삭제
8 8
기판; ZnO에 AlN이 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.