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박막 형성 방법 및 발광 소자

  • 기술번호 : KST2015208854
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 형성 방법 및 발광 소자에 관한 것으로, 상온에서 ZnO 타겟을 이용한 펄스 레이저 증착에 의해 ZnO 박막을 증착한 후 산소 또는 질소 분위기에서 열처리하여 박막을 형성한다. ZnO, PLD, 상온 증착, 열처리
Int. CL H01L 33/02 (2014.01)
CPC H01L 33/0083(2013.01) H01L 33/0083(2013.01) H01L 33/0083(2013.01) H01L 33/0083(2013.01) H01L 33/0083(2013.01)
출원번호/일자 1020090000830 (2009.01.06)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0081542 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0006095-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.09.23 수리 (Accepted) 4-1-2009-5184999-34
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0390974-10
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.11.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0714521-16
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0714508-11
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0579393-14
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0180766-39
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 펄스 레이저 증착 방식으로 ZnO 박막을 증착하는 단계; 및 상기 ZnO 박막이 증착된 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 박막 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 ZnO 박막은 상온에서 증착되는 박막 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 열처리는, 상기 기판을 급속 열처리 장치에 로딩하는 단계; 상기 급속 열처리 장치의 온도를 열처리 온도로 상승시키는 단계; 상기 기판을 열처리하는 단계; 및 상기 열처리된 기판을 자연 냉각시키는 단계를 포함하는 박막 형성 방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 열처리는 100 내지 600℃의 온도에서 실시하는 박막 형성 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 열처리 온도에 따라 상기 급속 열처리 장치의 온도를 상기 열처리 온도로 상승시키는 시간을 조절하는 박막 형성 방법
6 6
제 3 항에 있어서, 상기 급속 열처리 장치는 산소 분위기를 유지하는 박막 형성 방법
7 7
제 3 항에 있어서, 상기 급속 열처리 장치는 질소 분위기를 유지하는 박막 형성 방법
8 8
기판 상부의 소정 영역에 순차적으로 형성된 양극, 발광층 및 음극을 포함하며, 상기 양극은 상온에서 펄스 레이저 증착 방식으로 증착되고 열처리된 ZnO 박막으로 형성된 발광 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.