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단결정 성장 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015208860
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단결정 성장 장치 에 관한 것으로, 원료가 장입되도록 내부공간을 가지며, 상부 및 하부가 개방된 도가니와, 상기 도가니의 상부를 개폐하고 일면에 종자정 홀더가 설치되는 도가니 뚜껑과, 상기 도가니 뚜껑 하부에 장착되며, 종자정이 부착되는 종자정 홀더와, 상기 종자정 홀더와 종자정 사이에 형성되는 삽입 부재와, 상기 도가니를 감싸는 단열부재 및, 상기 도가니를 가열하는 유도 가열 코일을 포함하는 단결정 성장 장치를 제공한다.이에 따라서, 도가니 내부의 균일한 열분포를 통해 단결정 원료의 승화온도를 조절함으로써, 결정질이 향상된 단결정을 성장 시킬 수 있다. 또한, 단결정 원료의 승화온도를 조절함으로써, 도가니 상부 및 내부공간에 생성되는 기체상들의 비율을 용이하게 조절할 수 있고, 고품질의 단결정을 성장 시킬 수 있다.
Int. CL C30B 23/02 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020110133775 (2011.12.13)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1365483-0000 (2014.02.14)
공개번호/일자 10-2013-0066978 (2013.06.21) 문서열기
공고번호/일자 (20140225) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
2 이상일 대한민국 부산광역시 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 부산광역시 부산진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0989820-68
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0417847-01
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0738115-47
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0738113-56
5 등록결정서
Decision to grant		 2013.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0909700-50
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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원료가 장입되도록 내부공간을 가지며, 상부가 개방된 도가니;상기 도가니의 상부를 개폐하고 일면에 종자정 홀더가 설치되는 도가니 뚜껑;상기 도가니 뚜껑 하부에 장착되며, 종자정이 부착되는 종자정 홀더;상기 종자정 홀더와 종자정 사이에 형성되는 삽입 부재;상기 도가니를 감싸는 단열부재; 및,상기 도가니를 가열하는 유도 가열 코일을 포함하고,상기 도가니 상부의 온도구배를 줄여주어 도가니 내부의 온도구배를 감소시켜 상기 종자정이 받는 온도 분포를 균일하게 하고 성장률이 증가하여 단결정의 두께가 증가하도록, 상기 삽입부재는 열전도율이 낮은 탄탈륨을 호일형태로 형성하여 상기 종자정 홀더와 상기 종자정 사이에 삽입하여 사용되는 단결정 성장 장치
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도가니가 형성된 단결정 성장 장치 및 종자정을 마련하는 과정;상기 도가니 상부의 온도구배를 줄여주어 도가니 내부의 온도구배를 감소시켜 상기 종자정이 받는 온도 분포를 균일하게 하고, 성장률이 증가하여 단결정의 두께를 증가시키도록 열전도율이 낮은 탄탈륨을 호일형태로 형성하여 사용하는 삽입 부재를 종자정 홀더 상면에 부착하고 상기 삽입 부재 상면에 종자정을 부착하는 과정;상기 도가니 내에 원료를 장입한 후 종자정 홀더를 상기 도가니 내에 인입하는 과정; 및상기 도가니 내에 원료를 승화시켜 상기 종자정 상에 단결정을 성장시키는 과정을 포함하는 단결정 성장 방법
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