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단결정 성장 장치

  • 기술번호 : KST2015208880
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단결정 성장 장치에 관한 것으로, 원료가 장입되도록 내부공간을 가지며, 상부가 개방된 도가니와, 상기 도가니의 상부에 대응 장착된 도가니 뚜껑과, 상기 도가니 뚜껑 하부에 장착되며 종자정이 부착되는 종자정 홀더와, 상기 도가니를 감싸는 단열부재와, 상기 단열부재의 외측에 설치되고 스프링 형상으로 형성되며, 일회전하는 턴이 복수 개 형성되고, 상기 복수개의 턴과 상기 단열부재의 외측면 사이의 거리 중 적어도 하나가 나머지 거리와 다른 유도 가열 코일 중 적어도 하나가 나머지 거리와 다른 유도 가열 코일을 포함하는 단결정 성장 장치가 제공된다.또한, 유도 가열 코일은 제 1 유도 가열 코일 및 제 2 유도 가열 코일 영역으로 형성되며, 상기 제 1 유도 가열 코일 영역은 종자정이 성장하는 성장 영역의 외측에 형성되고, 상기 제 2 유도 가열 코일 영역은 상기 제 1 유도 가열 코일 영역의 상부와 하부의 종자정 비성장 영역의 외측에 형성된다.이에 따라서, 단결정 원료의 승화온도를 조절함으로써, 도가니 내부공간에 생성되는 기체상들의 비율을 용이하게 조절할 수 있고, 고품질의 단결정을 성장 시킬 수 있다.
Int. CL C30B 23/02 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020110130163 (2011.12.07)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1350933-0000 (2014.01.07)
공개번호/일자 10-2013-0063676 (2013.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (20140116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
2 박종휘 대한민국 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0971330-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.06 수리 (Accepted) 9-1-2013-0007645-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0428307-15
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.08.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0758384-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0758386-61
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0845068-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원료가 장입되도록 내부공간을 가지며, 상부가 개방된 도가니;상기 도가니의 상부에 장착되는 도가니 뚜껑;상기 도가니 뚜껑 하부에 장착되며, 종자정이 부착되는 종자정 홀더;상기 도가니를 감싸는 단열부재; 및,상기 단열부재의 외측에 설치되고 스프링 형상으로 형성되며, 일회전하는 턴이 복수 개 형성된 유도 가열 코일을 포함하고,상기 유도 가열 코일은 종자정이 성장하는 성장 영역의 외측에 형성된 제 1 유도 가열 코일 영역 및 상기 제 1 유도 가열 코일 영역의 상부와 하부의 종자정 비성장 영역의 외측에 형성되는 제 2 유도 가열 코일 영역을 포함하며,상기 제 1 유도 가열 코일 영역의 상기 턴과 상기 단열 부재의 외측면 사이의 제 1 거리는 상기 제 2 유도 가열 코일 영역의 상기 턴과 상기 단열 부재의 외측면 사이의 제 2 거리보다 크게 형성되고,상기 제 1 유도 가열 코일 영역의 중심으로부터 상기 제 2 유도 가열 코일 영역 쪽으로 멀어질수록 상기 회전하는 복수개의 턴과 상기 단열부재의 외측면과 사이의 거리가 줄어드는 단결정 성장 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 단열부재는 단열재와 석영관을 포함하며, 상기 단열재는 상기 도가니를 둘러싸고, 상기 석영관은 통형의 형상으로 상기 단열재의 외부를 둘러싸는 단결정 성장 장치
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 종자정 성장 영역은 상기 도가니 내부의 원료가 형성되는 공간의 중심면으로부터 상하 방향으로 소정범위의 공간이며, 상기 종자정 비성장 영역은 상기 종자정 성장 영역의 상부와 상기 단결정 성장 장치의 상단 사이 및 상기 종자정 성장 영역의 하부와 상기 단결정 성장 장치의 하단 사이를 포함하는 단결정 성장 장치
5 5
청구항 4에 있어서,상기 제 1 유도 가열 코일 영역은 턴간 간격이 등 간격으로 감겨 있고, 상기 회전하는 복수개의 턴과 상기 단열부재의 외측면 사이의 거리가 인접하는 턴마다 다른 단결정 성장 장치
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
청구항 4에 있어서,상기 제 2 유도 가열 코일 영역은 턴간 간격이 등간격으로 감겨 있고, 상기 회전하는 복수개의 턴과 상기 단열 부재의 외측면 사이의 거리가 같은 단결정 성장 장치
9 9
삭제
10 10
청구항 1에 있어서,상기 제 1 거리는 상기 제 2 거리 보다 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.