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진공 기상 증착장치에 있어서,내부에 빈 공간이 형성되는 챔버;상기 챔버의 일측에 마련되는 진공라인;상기 챔버의 외면에 형성되는 하나 이상의 투과창;상기 챔버 외부에 마련되며 태양광을 집광하여 상기 투과창을 통해 상기 챔버 내부로 보내게 되는 렌즈 형태의 집열수단;상기 챔버 내부에 마련되는 기판 홀더;상기 기판 홀더 하측으로 상기 챔버 내부에 마련되는 소스용기;를 포함하여 태양광으로 상기 소스용기에 담긴 소스를 가열 증발시켜 상기 기판 홀더에 장착되는 기판 표면을 코팅시키도록 하는 것을 특징으로 하는 렌즈형 태양광 집열수단을 이용하는 진공 기상 증착장치
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진공 기상 증착장치에 있어서,내부에 빈 공간이 형성되는 챔버;상기 챔버의 일측에 마련되는 진공라인;상기 챔버의 외면에 형성되는 하나 이상의 투과창;상기 챔버 외부에 마련되며 태양광을 집광하여 상기 투과창을 통해 상기 챔버 내부로 보내게 되는 렌즈 형태의 집열수단;상기 챔버 내부에 마련되는 기판 홀더;상기 챔버의 타측에 마련되는 소스가스 주입라인;을 포함하여 태양광으로 상기 기판 홀더에 장착되는 기판을 가열시켜 상기 기판 표면을 코팅시키도록 하는 것을 특징으로 하는 렌즈형 태양광 집열수단을 이용하는 진공 기상 증착장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 투과창은,편평한 평면이 되도록 상기 챔버로부터 돌출되는 분기관에 판상의 투명 투과창이 형성되는 것을 특징으로 하는 렌즈형 태양광 집열수단을 이용하는 진공 기상 증착장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판 홀더는,중심부에 개구홀이 형성되어 태양광이 상기 개구홀을 관통하여 상기 소스용기에 담긴 상기 소스에 도달될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 렌즈형 태양광 집열수단을 이용하는 진공 기상 증착장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 집열수단은,상기 챔버와 연결되는 가이드를 따라 이동됨으로써 상기 투과창과의 거리가 가변될 수 있으며, 상기 가이드는 태양의 움직임에 따라 회동 동작될 수 있는 것을 특징으로 하는 렌즈형 태양광 집열수단을 이용하는 진공 기상 증착장치
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