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대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정성장 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015208950
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 상기한 본 발명의 장치는 흑연도가니 몸체, 상·하부 흑연 도가니 뚜껑, 탄화규소 및 흑연 종자정 홀더 및 유도코일로 구성되는 탄화규소 단결정 성장 장치에 있어서, 상기 흑연 도가니 몸체에 하부 흑연 도가니 뚜껑을 부착시킨 후 그 위에 상기 탄화 규소 흑연 종자정 홀더와 그 상부에 탄화규소 종자정 홀더를 위치시키고, 상기 흑연 도가니 몸체 내부에 저밀도 흑연 실린더를 일정 위치에 위치시킨 다음, 흑연 도가니 몸체 내부와 저밀도 흑연 실린더 사이에 탄화 규소 분말을 충진시킨 구조로 됨을 특징으로 한다. 상기한 본 발명의 구성에 따른 장치를 사용한 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장방법은 종래기술의 문제점이었던 탄화규소 종자정 및 성장된 탄화규소 잉곳이 흑연 종자정 홀더 표면에서 이탈하는 문제를 해결할 수 있을 뿐 아니라, 직경이 확장된 부분에 결함밀도가 낮은 탄화규소 잉곳을 성장시킬 수 있다. 탄화규소, 실리콘 카바이드, 단결정 잉곳, 직경확장, 도가니 구조, 흑연 종자정 홀더, 온도구배.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020080003413 (2008.01.11)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0975957-0000 (2010.08.09)
공개번호/일자 10-2009-0077446 (2009.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20100813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.11)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 김정곤 대한민국 경상남도 진주시
3 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조경화 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 한림빌딩 *층 (대치동)(국제특허법률사무소 미래연)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0024532-19
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0177851-12
3 보정요구서
Request for Amendment
2008.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0039285-69
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0251287-85
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0070798-12
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.09.23 수리 (Accepted) 4-1-2009-5184999-34
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.02.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0065688-11
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0239071-07
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.04.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0239077-70
11 등록결정서
Decision to grant
2010.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0342138-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
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번호 청구항
1 1
흑연도가니 몸체와, 상기 흑연 도가니 몸체의 하부에 부착된 하부 흑연 도가니 뚜껑과, 상기 하부 흑연 도가니 뚜껑 상에 위치되는 탄화 규소 흑연 종자정 홀더와, 상기 탄화 규소 흑연 종자정 홀더 상부에 위치하는 탄화 규소 종자정 홀더와, 상기 흑연 도가니 몸체 내부의 일정 위치에 위치되는 저밀도 흑연 실린더와, 상기 흑연 도가니 몸체 내부와 상기 저밀도 흑연 실린더 사이에 충진되는 탄화 규소 분말과, 상기 흑연 도가니 몸체의 상부에 부착하여 도가니 몸체를 밀봉하는 상부 흑연 도가니 뚜껑으로 이루어지며, 상기 밀봉 완료된 흑연 도가니 몸체를 유도 가열로에 장입하여 유도 코일을 이용하여 탄화규소 결정성장을 실시하되, 상기 유도 가열로는 상부와 하부에 장착된 파이로 미터를 이용하여 측정된 도가니 축 방향의 온도 구배가 4 내지 6℃로 되도록 가열되게 설정되는 것을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 탄화규소 종자정 홀더와 상기 흑연 종자정 홀더의 두 계면은 접착물질에 의하여 부착된 것임을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 탄화규소 종자정의 결정다형은 3C(cubic), 4H(haxagonal), 6H(haxagonal) 15R(rhombohedral)에서 선택된 것임을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 장치
4 4
흑연 도가니 몸체에 하부 흑연 도가니 뚜껑을 부착시킨 후 그 위에 탄화 규소 흑연 종자정 홀더와 그 상부에 탄화규소 종자정 홀더가 위치되고, 상기 흑연 도가니 몸체 내부에 저밀도 흑연 실린더가 일정 위치에 위치되고, 그리고 상기 흑연 도가니 몸체 내부와 상기 저밀도 흑연 실린더 사이에 탄화 규소 분말을 충진시킨 장치를 사용하여, 상기 탄화규소 분말 충진 후 흑연도가니 몸체의 상부에 상부 흑연 도가니 뚜껑를 부착하여 도가니 밀봉을 완료하고, 상기와 같이 도가니 세팅이 완료되면 유도가열로에 장입하여 유도 코일을 이용하여 탄화규소 결정 성장을 실시하고, 상기 유도가열로는 그 상부와 하부에 장착된 파이로미터를 이용하여 측정된 도가니 축 방향의 온도구배가 4 내지 6℃로 되도록 가열되게 설정됨을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 탄화규소 결정 성장 공정은 아르곤 가스 분위기에서 2,300℃ 내지 2,500℃의 온도 영역에서 실시됨을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제 4항에 있어서, 상기 탄화규소 결정 성장압력은 10mbar 내지 50mbar 아르곤 분위기에서 수행됨을 특징으로 하는 대구경 고품질 탄화규소 단결정의 직경확장을 위한 단결정 성장 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.