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단결정 성장 방법 및 단결정 원료

  • 기술번호 : KST2015208955
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 단결정 성장 방법은 밀도가 0.5g/m3 내지 1g/m3이며, SiC 파우더에 Si 파우더가 혼합된 원료물질을 이용하여 단결정을 성장시키는 것을 특징으로 한다.따라서, 본 발명의 의하면 반절연(semi insulating) 단결정을 용이하게 제작할 수 있다. 즉, 캐리어 농도가 1×1016 이하이고, 투과율이 높은 반절연(semi insulating) 단결정을 제작할 수 있다. 이러한 반절연(semi insulating) 단결정의 경우 저항이 커, 고집적 회로 또는 나노(nano) 폭의 배선에 있어서, 회로 또는 배선이 통전되는 것을 방지할 수 있다.
Int. CL C30B 23/00 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC C30B 23/066(2013.01) C30B 23/066(2013.01) C30B 23/066(2013.01) C30B 23/066(2013.01)
출원번호/일자 1020100028363 (2010.03.30)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1227051-0000 (2013.01.22)
공개번호/일자 10-2011-0108896 (2011.10.06) 문서열기
공고번호/일자 (20130129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
3 여임규 대한민국 경상남도 거제시 해명로*길

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0201738-17
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0032129-06
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0250955-56
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.07 수리 (Accepted) 9-1-2011-0078915-37
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0243899-48
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0508251-20
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0508250-85
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0731229-47
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-1066935-29
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.12.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-1066934-84
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0029646-85
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
밀도가 0
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 원료물질이 장입되는 도가니, 종자정이 부착되는 종자정 홀더, 도가니를 가열하는 가열수단을 포함하는 성장장치를 이용하여, 상기 원료물질을 승화시켜 단결정을 성장시키는 성장 방법에 있어서,상기 종자정 홀더에 종자정을 부착시키는 단계; 및상기 종자정이 부착된 종자정 홀더를 성장장치 내로 인입시키는 단계;를 포함하는 단결정 상장 방법
4 4
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,상기 원료물질은 흰색을 띠는 단결정 성장 방법
5 5
청구항 4에 있어서,상기 원료물질을 이용하여 6H-SiC 단결정을 성장시키는 단결정 성장 방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
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9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.