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단결정 성장 장치

  • 기술번호 : KST2015208972
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 단결정 성장 장치는 원료가 장입되는 내부 공간을 가지는 도가니, 도가니 내부에서 상기 원료의 상측에 설치되며, 종자정이 부착되는 종자정 홀더 및 도가니 내부에서 상기 종자정 홀더 하측에 대응 위치하여 상기 도가니의 하부와 연결되며, 적재되는 원료에 의해 덮히도록 설치되는 히팅 부재를 포함한다.따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면 원료가 장입되는 도가니 내부에 히팅 부재를 설치함으로써, 종자정과 원료 사이의 온도 구배를 종래에 비해 증가시킬 수 있다. 따라서, 단결정 성장 속도 및 단결정 잉곳의 길이를 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 이로 인해, 단결정 잉곳 제조를 위한 공정 시간이 단축되며, 생산율을 향상시킬 수 있다.
Int. CL C30B 23/02 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01)
CPC C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01)
출원번호/일자 1020120004395 (2012.01.13)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0083653 (2013.07.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
2 이상일 대한민국 부산 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0035083-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2013-0019797-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0577531-97
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0948313-06
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0064529-41
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원료가 장입되는 내부 공간을 가지는 도가니;상기 도가니 내부에서 상기 원료의 상측에 설치되며, 종자정이 부착되는 종자정 홀더; 및상기 도가니 내부에서 상기 종자정 홀더 하측에 대응 위치하여 상기 도가니의 하부와 연결되며, 적재되는 원료에 의해 덮히도록 설치되는 히팅 부재를 포함하는 단결정 성장 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 도가니는 원료가 장입되는 내부 공간이 마련되며, 상측 및 하측이 개방된 도가니 몸체;상기 도가니 몸체의 상측 개구를 덮는 상부 뚜껑; 및상기 하측 개구를 덮는 하부 뚜껑을 포함하고,상기 히팅 부재의 일단이 상기 도가니 내부에서 상기 하부 뚜껑과 연결되도록 설치되는 단결정 성장 장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 히팅 부재는 그라파이트로 이루어진 단결정 성장 장치
4 4
청구항 3에 있어서,상기 히팅 부재는 상기 도가니의 길이 방향으로 연장되며, 상기 종자정 홀더와 마주 보도록 배치되는 단결정 성장 장치
5 5
청구항 3에 있어서,상기 히팅 부재는 상기 도가니의 폭방향의 중심부에 설치되는 단결정 성장 장치
6 6
청구항 4에 있어서,상기 히팅 부재의 높이(h1)는 상기 도가니에 장입되는 원료의 높이(h2)의 1/3 내지 2/3인 단결정 성장 장치
7 7
청구항 4에 있어서,상기 히팅 부재의 폭(W1)은 상기 도가니의 내부 직경(W2)의 1/7 내지 1/2인 단결정 성장 장치
8 8
청구항 1에 있어서,상기 종자정 홀더의 하부에 시트(sheet)가 부착되고, 상기 시트(sheet)의 하부에 종자정이 부착되며,상기 시트(sheet)는 탈탄륨(Ta)으로 이루어진 단결정 성장 장치
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