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단결정 성장 장치로서,원료물질이 장입되는 도가니,상기 도가니를 덮어 상기 도가니를 폐쇄하는 도가니 커버,상기 도가니 상부에서 상기 도가니 커버의 하부에 설치되고, 흑연으로 제작되며, 성장면이 상기 원료물질을 향하도록 종자정이 부착되는 종자정 홀더,상기 도가니 내부의 상기 원료물질 상부에 설치되며, 1mm 이상, 10mm 이하의 두께를 가지고, 상기 단결정의 성분 중 적어도 하나를 포함하여, 상기 종자정으로 원료를 추가로 공급하여 단결정을 구성하는 성분비를 제어하는 원료 보조부재, 및상기 도가니를 가열하는 가열수단을 포함하는 단결정 성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 원료 보조부재는 다공성 재질의 판형 부재인 단결정 성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 원료 보조부재는 플레이트 형상이며 상하부를 관통하는 관통홀을 구비하는 단결정 성장 장치
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 원료 보조부재는 상기 원료물질과 이격되고 상기 도가니의 측벽에 장착되는 단결정 성장 장치
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청구항 4에 있어서,상기 도가니 측벽에는 내측 방향으로 단턱부나 돌출부가 형성된 단결정 성장 장치
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도가니 내에서 원료물질을 승화시켜 단결정을 성장시키는 성장 방법으로서,상기 단결정의 원료물질을 마련하여 도가니 내에 투입하는 과정,종자정을 흑연으로 제작된 종자정 홀더에 부착하는 과정;상기 단결정을 이루는 성분 중 적어도 하나를 포함하며, 1mm 이상, 10mm 이하의 두께를 가지는 원료 보조부재를 추가로 마련하는 과정,상기 도가니 내부에서 상기 원료물질의 상부로 이격 되도록 상기 원료 보조부재를 장착하는 과정,상기 종자정이 부착된 종자정 홀더를 도가니 커버에 장착하고, 상기 도가니 커버로 상기 도가니의 상단을 덮어, 상기 종자정의 성장면이 상기 원료물질을 향하여 배치되도록 하는 과정,상기 도가니를 가열하여 상기 원료물질을 승화시켜 단결정을 성장시키고, 상기 원료 보조부재로부터 상기 종자정으로 원료를 추가로 공급하여 단결정을 성장시키는 단결정 성장 방법
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청구항 8에 있어서,상기 원료물질이 SiC 파우더일 때, 상기 원료 보조부재는 탄소 함유 물질인 단결정 성장 방법
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청구항 8 또는 청구항 9에 있어서상기 원료 보조부재는 다공성 재질이거나, 상기 원료물질이 승화되어 통과되도록 관통 공간이 형성되는 단결정 성장 방법
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