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안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015209404
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기도금법을 이용하여 열센서용 안티모니-테루라이드(Sb-Te) 열전박막소자의 제조방법을 제공하기 위한 것으로서, 더욱 상세하게는 안티모니(Sb) 이온 공급원과 테루륨(Te) 이온 공급원들을 포함하는 도금액 내의 안티모니 이온과 테루륨 이온의 농도비율을 7:3에서부터 9:1 범위로 조절하고 도금전위를 0 mV에서 30 mV 범위로 조절함으로써 기존의 방법으로는 얻을 수 없었던 높은 지벡 계수를 갖는 안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 의해 소형화된 열센서를 빠른 공정속도와 낮은 공정비용으로 구성할 수 있는 공정상의 이점이 있으며, 또한 열센서의 감지성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 열전박막, 안티모니-테루라이드, 지벡 계수, 전기도금, 열센서
Int. CL H01L 35/18 (2006.01) H01L 35/00 (2006.01) H01L 35/16 (2006.01)
CPC H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01)
출원번호/일자 1020080051331 (2008.06.01)
출원인 홍익대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0993217-0000 (2010.11.03)
공개번호/일자 10-2009-0125230 (2009.12.04) 문서열기
공고번호/일자 (20101110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.01)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오태성 대한민국 서울 양천구
2 김민영 대한민국 충청북도 괴산군
3 박경원 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0392176-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2008-5189774-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.08.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0047309-15
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0144956-39
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0360598-51
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0429447-16
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0434818-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2010-5135027-78
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0484952-96
11 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2010.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0484247-15
12 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2010.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0070040-11
13 [반려이유통지에 따른 소명]의견(답변, 소명)서
[Substantiation according to Notice of Reason for Return] Written Opinion (Written Response, Written Substantiation)
2010.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0508652-56
14 직권수리안내서
Notification of Ex officio Acceptance
2010.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0070866-17
15 등록결정서
Decision to grant
2010.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0467517-41
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
안티모니(Sb) 이온과 테루륨(Te) 이온의 농도비율이 7:3에서 9:1의 범위가 되도록 안티모니 이온 공급원과 테루륨 이온 공급원을 함유하는 전기도금액에 전기도금용 씨앗층이 형성된 기판을 담그는 단계와; 상기 전기도금용 씨앗층에 0 mV에서 30 mV 사이의 도금전위를 인가하여 안티모니-테루라이드 열전박막을 전기도금으로 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조방법
2 2
상기 청구항 1에 있어서, 안티모니-테루라이드 열전박막의 전기도금용 씨앗층이 전기전도체인 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W) 중에서 선택된 어느 한 금속으로 이루어지거나, 이들 중에서 선택된 둘이나 그 이상의 금속들을 함유하는 합금으로 이루어지거나, 또는 이들 중에서 선택된 둘이나 그 이상의 다층구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조방법
3 3
상기 청구항 1에 있어서, 전기도금으로 안티모니-테루라이드 열전박막을 제조하기 위한 기판으로 실리콘(Si) 웨이퍼, 유리 또는 고분자 기판이나 세라믹 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조방법
4 4
p형 열전박막과 n형 열전박막으로 구성된 열전박막모듈을 제조하는데 있어서 p형 열전박막의 제조방법으로 안티모니 이온과 테루륨 이온의 농도비율이 7:3에서 9:1의 범위가 되도록 안티모니 이온 공급원과 테루륨 이온 공급원을 함유하는 전기도금액에 전기도금용 씨앗층이 형성된 기판을 담그는 단계와; 상기 전기도금용 씨앗층에 0 mV에서 30 mV 사이의 도금전위를 인가하여 안티모니-테루라이드 열전박막을 전기도금으로 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 안티모니-테루라이드 열전박막소자의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울시 연세대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업 기반기술구축사업 분산형 실시간 환경 모니터링을 위한 환경분석 모듈 개발