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플라즈마 생성을 위한 애노드(anode);상기 애노드와의 사이에서 100~600V 범위의 저전압이 인가되면 시드 플라즈마(seed plasma)를 생성시키는 제1캐소드(cathode); 및상기 시드 플라즈마를 이용하여, 상기 애노드와의 사이에서 플라즈마를 발생시키는 제2캐소드;를 포함하고,상기 제1캐소드가 상기 애노드와 상기 제2캐소드 사이의 공간에 위치하며,상기 시드 플라즈마가 생성될 수 있도록 상기 애노드와 상기 제1캐소드 사이의 거리는 마이크로미터(㎛) 스케일(scale)의 거리로 배치되고,상기 제1캐소드와 제2캐소드 사이의 거리는 상기 제1캐소드와 애노드 사이의 거리보다 길어, 상기 제1캐소드를 기준으로 상기 애노드와 제2캐소드가 비대칭(asymmetric structure)으로 배치되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 애노드, 상기 제1캐소드 및 상기 제2캐소드는 기판상에 형성되는 것을 특징으로 하는, 대기압 플라즈마 발생 소자
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제 2 항에 있어서, 상기 애노드, 상기 제1캐소드 및 상기 제2캐소드가 하나의 그룹을 이루며, 복수 개의 상기 그룹이 소형 기판상에 집적화되는 것을 특징으로 하는, 대기압 플라즈마 발생 소자
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제 3 항에 있어서,상기 기판은 유리, 실리콘 또는 플렉시블(flexible) 기판인 것을 특징으로 하는, 대기압 플라즈마 발생 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 애노드와 상기 제2캐소드 사이의 거리는, 상기 애노드와 상기 제1캐소드 사이의 거리보다 길어, 상기 저전압에서 플라즈마 방전을 개시할 수 없는 거리로 배치되는 것을 특징으로 하는, 대기압 플라즈마 발생 소자
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제 1 항에 있어서,상기 애노드와 상기 제1캐소드 사이에 펄스전원이 연결되고, 상기 애노드와 상기 제2캐소드 사이에는 DC 또는 AC 전원이 연결되는 것을 특징으로 하는, 대기압 플라즈마 발생 소자
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