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기판의 일부에 연통되어 형성된 복수의 써멀비아전극을 구비한 상부기판 및 하부기판;상기 상부기판의 써멀비아전극과 상기 하부기판의 써멀비아전극 사이에 교번 배열하여 접합되어 있는 p형 열전소자 및 n형 열전소자;상기 p형 열전소자와 상기 n형 열전소자가 전기적으로 직렬연결되도록 상기 상부기판의 써멀비아전극들 사이를 연결하고 상기 하부기판의 써멀비아전극들 사이를 연결하는 신축성 배선;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 배선은 이차원 물결 형상 또는 말굽 형상인 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 배선은 삼차원 물결 형상인 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 배선은 탄소나노튜브와 신축성 고분자의 복합재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 배선은 탄소나노튜브, 금속 및 신축성 고분자의 복합재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 배선은 금속과 신축성 고분자의 복합재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 신축성 열전모듈은 모듈 내부가 신축성 고분자로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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25
제 18항에 있어서,상기 써멀비아전극을 포함하는 상기 상부기판 또는 상기 하부기판에 절연층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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26
제 18항에 있어서,상기 전극은 상기 p형 열전소자 및 상기 n형 열전소자와 소자접합층을 통하여 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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27
제 26항에 있어서,상기 소자접합층은 솔더 또는 전도성 접착제를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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28
제 27항에 있어서,상기 솔더는 주석(Sn)에 은(Ag), 구리(Cu), 비스무스(Bi), 인듐(In), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 납(Pb), 금(Au) 중에서 어느 하나 또는 둘 이상이 함유된 조성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 써멀비아전극은 비아접착층을 개재하여 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 상부기판 또는 상기 하부기판은 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN), 유리(SiO2), 글라스-세라믹, 실리콘카바이드(SiC), 질화실리콘(Si3N4), 실리콘(Si) 중에서 적어도 하나를 포함하여 이루어지는 세라믹을 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 상부기판 또는 상기 하부기판은 에폭시, 페놀, 폴리이미드, 폴리에스텔, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르슬폰, 테프론, FR4, 실리콘(silicone), PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리우레탄 중에서 적어도 하나를 포함하여 이루어지는 고분자를 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 써멀비아전극은 구리(Cu), 은(Ag), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 철(Fe), 금(Au), 백금(Pt), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W) 중에서 어느 하나 또는 둘 이상이 함유된 조성의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 p형 열전소자는 p형 (Bi,Sb)2Te3, Sb2Te3, Bi2Te3, SiGe, (Pb,Sn)Te, PbTe, skutterudite, AgPbmSbTe2+m, Zn4Sb3, MnSi, FeSi2, Mg2Si 중의 어느 하나 또는 둘 이상의 조합으로 이루어진 벌크, 나노컴포지트, 박막, 슈퍼레티스(superlattice), 나노튜브, 양자점 중의 어느 하나 또는 둘 이상의 조합을 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 18항에 있어서,상기 n형 열전소자는 n형 Bi2(Te,Se)3, Bi2Te3, (Bi,Sb)2Te3, SiGe, (Pb,Ge)Te, PbTe, skutterudite, AgPbmSbTe2+m, FeSi2, CoSi, Mg2Si 중의 어느 하나 또는 둘 이상의 조합으로 이루어진 벌크, 나노컴포지트, 박막, 슈퍼레티스(superlattice), 나노튜브, 양자점 중의 어느 하나 또는 둘 이상의 조합을 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 29항에 있어서,상기 비아접착층은 니켈(Ni), 구리(Cu), 주석(Sn), 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 백금(Pt), 철(Fe), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W) 중에서 어느 하나 또는 둘 이상이 함유된 조성의 금속으로 단일층 또는 다층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 25항에 있어서,상기 절연층은 페릴렌(Pyrelene), 에폭시, 페놀, 폴리이미드, 폴리에스텔, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르슬폰, 테프론, FR4, 실리콘(silicone), PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리우레탄 중에서 적어도 하나를 포함한 고분자 소재의 코팅 또는 라미네이션을 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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제 25항에 있어서,상기 절연층은 SiO2, Al2O3, AlN, SiC, Si3N4, Si 중에서 적어도 어느 하나를 포함한 세라믹 코팅을 사용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 신축성 열전모듈
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