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합금조성 증착원과 테루륨 증착원의 동시증착에 의한 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 열전박막

  • 기술번호 : KST2015209589
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공증착법을 이용한 비스무스 테루라이드(Bi2Te3)계 열전박막의 제조방법을 제공하기 위한 것으로서, 더욱 상세하게는 비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 동시증착하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 열전박막을 제공한다. 본 발명에 의해 열전박막의 조성을 용이하게 조절함으로써 우수한 열전특성을 갖는 열전박막을 얻을 수 있는 공정상의 이점이 있으며, 또한 이들 열전박막으로 구성한 열전박막소자의 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
Int. CL H01L 35/18 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020120018874 (2012.02.24)
출원인 홍익대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1268609-0000 (2013.05.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오태성 대한민국 서울 송파구
2 배재만 대한민국 경북 경산시 장산로
3 김민영 대한민국 서울 영등포구
4 최정열 대한민국 서울 노원구
5 유병규 대한민국 서울 중랑구
6 김재환 대한민국 경기 광명시 도덕로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정상규 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0151457-55
2 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0316525-13
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번호 청구항
1 1
진공증착법으로 비스무스 테루라이드계 열전박막을 제조하는 방법에 있어서,비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 각각 구성하고 동시증착에 의해 열전박막을 형성하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,p형 열전박막의 경우, 상기 비스무스 테루라이드계 합금조성은,비스무스 안티모니 테루라이드 또는 안티모니 테루라이드로 이루어지는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서,n형 열전박막의 경우, 상기 비스무스 테루라이드계 합금조성은,비스무스 테루라이드 세레나이드 또는 비스무스 테루라이드로 이루어지는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원은,비스무스 테루라이드계 합금 잉곳을 분쇄한 알갱이 또는 분말을 사용하여 이루어지는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원은,비스무스 테루라이드계 합금을 구성하는 원료분말들을 원하는 조성으로 혼합한 혼합분말을 사용하여 이루어지는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법
6 6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 p형 비스무스 테루라이드계 열전박막
7 7
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 n형 비스무스 테루라이드계 열전박막
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 홍익대학교 일반연구자지원사업 열전박막을 이용한 마이크로 열전소자의 형성공정 및 열전특성 연구