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베이스에 형성된 복수개의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 너비를 갖는 복수개의 개구; 상기 복수개의 개구들을 덮도록 상기 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 제1 슬라이드;를 포함하여, 상기 각 개구들을 통해 순차적으로 또는 동시에 시료의 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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제 1항에 있어서, 나노미터 단위의 두께를 갖는 제2 슬라이드가 상기 제1 슬라이드 위에 이동 가능하게 설치되고, 상기 제2 슬라이드 위에 시료가 놓여져 상기 제2 슬라이드의 이동에 따라 대면적 주사가 가능하게 된 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 베이스가 Si층으로 형성되며, Si {111} 면과 {100}면 사이의 결정각을 θ, 베이스의 두께를 d, 개구의 너비를 n이라 할 때, 이웃하는 개구와 개구 사이의 최소간격 Smin은 하기의 조건식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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제1베이스에 형성된 적어도 하나의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 단위의 너비를 갖는 적어도 하나의 제1개구와, 상기 제1개구를 덮도록 상기 제1 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 제1 슬라이드를 가지는 제1 나노탐침 유닛; 제2베이스에 형성된 적어도 하나의 관통홀의 상부에 마련된 나노미터 단위의 너비를 갖는 적어도 하나의 제2개구와, 상기 적어도 하나의 제2개구를 덮도록 상기 제2 베이스 위에 형성된 제2 슬라이드를 가지며, 상기 제1 나노탐침 유닛에 대향되게 배치된 제2 나노탐침 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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제 2항 또는 제 4항에 있어서, 상기 제1 슬라이드와 제2 슬라이드 사이에 윤활유가 삽입되는 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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6
제 1항, 제 2항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관통홀은,절두 피라미드형으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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7
제 1항, 제 2항 또는 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 관통홀의 내벽에 광의 흡수를 높일 수 있도록 금속막이 증착되는 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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8
제 2항 또는 제 4항에 있어서,상기 제1슬라이드 및 제2슬라이드는 Si3N4로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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9
제 4항에 있어서, 상기 제1 나노탐침 유닛과 제2 나노탐침 유닛 중 적어도 하나가 이동 가능하게 된 것을 특징으로 하는 나노 슬라이드가 결합된 나노 탐침 어레이
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10
제 4항에 있어서, 상기 제1개구와 제2개구의 마주보는 면적이 조절 가능하게 된 것을 특징으로 하는 나노 탐침 어레이
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제 4항에 있어서, 상기 제1개구와 제2개구의 마주보는 면적이 조절 가능하게 된 것을 특징으로 하는 나노 탐침 어레이
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