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베이스에 형성된 적어도 하나의 관통홀의 상부에 구비된 나노미터 단위의 너비를 갖는 적어도 하나의 개구;상기 적어도 하나의 개구를 덮도록 상기 베이스 위에 결합된 광학적으로 투명한 나노미터 단위의 두께를 갖는 슬라이드;상기 슬라이드 상부에 결합되어 내부에 시료가 포함된 유체가 흐르도록 된 마이크로 채널;을 포함하고, 상기 적어도 하나의 개구를 통해 순차적으로 또는 동시에 상기 시료의 근접장 광검출을 할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 나노 탐침 장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로 채널 내에 있는 유체의 속도 umax는 마이크로 채널의 높이를 h, 너비를 w, 체적 유량비를 Q라고 할 때, 다음과 같은 조건식에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로 채널에 전기 영동 장치가 결합되는 것을 특징으로 하는 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 베이스가 Si층으로 형성되며, Si {111} 면과 {100}면 사이의 결정각을 θ, 베이스의 두께를 d, 개구의 너비를 n이라 할 때, 이웃하는 개구와 개구 사이의 최소간격 Smin은 하기의 조건식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 관통홀은,절두 피라미드형으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 관통홀의 내벽에 광의 흡수를 높일 수 있도록 금속막이 증착되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 슬라이드는 Si3N4로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 채널의 상부를 덮을 수 있는 커버 슬립이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 채널의 상부를 덮을 수 있는 커버 슬립이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 채널이 결합된 나노 탐침 장치
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