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(a) 하나 또는 둘 이상의 음각의 미세유로 및 상기 미세유로에 유동체를 주입하기 위한 개구가 형성된 탄성중합체 몰드를 제조하는 단계;(b) 상기 탄성중합체 몰드의 상기 미세유로가 음각으로 형성된 면에 기판을 부착하여 상기 미세유로에 의한 캐비티를 형성하는 단계;(c) 하나 또는 둘 이상의 재료를 유동체로 분산시키는 단계;(d) 상기 탄성중합체 몰드에 형성된 개구를 통하여 상기 유동체를 상기 캐비티에 강제 주입하는 단계;(e) 상기 주입된 유동체내의 용매를 건조시키는 단계; 및(f) 상기 탄성중합체 몰드를 제거하여 상기 기판상에 미세패턴을 완성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계는 (a1) 광학전사법을 통하여 기판위에서 포토리지스트를 선택적으로 식각하여 원형을 제작하는 단계; (a2) 상기 원형을 틀에 고정시키는 단계; (a3) 탄성중합체의 전구체와 경화제가 소정의 질량비로 혼합된 혼합물을 제조하는 단계; (a4) 상기 혼합물을 상기 원형 위에 붓고 탈포하는 단계; (a5) 상기 탈포된 혼합물을 경화시키는 단계; 및 (a6) 상기 경화된 혼합물과 원형을 분리하여 탄성중합체 몰드를 완성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제2항에 있어서, 상기 포토리지스트는 마이크로케미스트리 社의 수에잇(SU-8) 또는 그 동등품인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제2항에 있어서, 상기 탄성중합체는 폴리디메틸실록산 탄성중합체이고, 상기 탄성중합체의 전구체는 다우코닝 社의 실가드 184(sylgard 184) 또는 그 동등품인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제4항에 있어서, 상기 탄성중합체의 전구체와 상기 경화제의 질량비는 10:1 인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 탄성중합체 몰드는, 하나의 미세유로당 하나의 개구가 형성된 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 휘발성 용매를 분산매로 사용하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제7항에 있어서, 상기 휘발성 용매는 알코올계 용매인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제7항에 있어서, 상기 (c) 단계는 폴리비닐피롤리돈을 분산제로 사용하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제9항에 있어서, 상기 폴리비닐피롤리돈의 함량은 원재료 분말의 2 내지 4 wt% 인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 상기 유동체내의 원재료 분말의 부피 농도가 15 vol% 이상의 유동체를 사용하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제11항에 있어서, 상기 원재료 분말은 Al2O3 인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제11항에 있어서, 상기 원재료 분말은 NiO와 Al2O3 인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계에 있어서 상기 유동체의 점도가 40 mPa·s 이하인 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제1항에 있어서, 상기 (d) 단계는 (d1) 상기 각각의 유로의 개구에 소정량의 유동체를 투여하는 단계; (d2) 진공분위기를 조성하는 단계; 및 (d3) 대기압 분위기로 전환하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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제7항에 있어서, 상기 (e) 단계는 상기 휘발성 분산매가 상기 탄성중합체 몰드를 통과하여 증발하면서 발생하는 상기 유동체의 부피의 감소를 상기 개구에서 계속적인 유동체의 흐름을 통하여 보충하여 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 패터닝 방법
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탄성중합체 몰드의 하면에 형성된 하나 또는 둘 이상의 미세유로; 및 상기 미세유로에 유동체를 주입하기 위하여, 상기 몰드의 상면과 하면을 관통하며 상기 각 미세유로마다 하나씩 연결되어 구비된 개구를 구비한 것을 특징으로 하는 미세 패터닝용 탄성중합체 몰드
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제17항에 있어서, 상기 몰드의 상면의 각각의 개구 주변에 유동체가 담길 용기가 형성된 것을 특징으로 하는 미세 패터닝용 탄성중합체 몰드
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제1항 내지 제16항 중 어느 한 항의 미세 패터닝 방법에 의하여 제조된 하나 또는 둘 이상의 미세 패턴이 양각으로 형성된 미세패턴 기판
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제19항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 미세패턴 기판
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제19항에 있어서, 상기 기판은 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 미세패턴 기판
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제19항에 있어서, 상기 기판은 폴리머 재질인 것을 특징으로 하는 미세패턴 기판
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제1항 내지 제16항 중 어느 한 항의 미세 패터닝 방법에 의하여 제조된, 양극과 음극의 미세 패턴이 전해질 면위에 양각으로 형성된 고체 산화물 연료전지
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제23항에 있어서, 상기 양극과 음극을 형성하기 위한 유동체는, 상기 양극 재료와 상기 음극 재료 각각에 폴리비닐피롤리돈을 첨가하여 20 vol%의 40mPa-s 이하의 점도를 가지는 알코올계 액체 유동체인 것을 특징으로 하는 고체 산화물 연료전지
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제23항에 있어서, 상기 기판 재질은 저온 작동 전해질인 Sm0
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제25항에 있어서, 상기 양극의 재료는 Sm0
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제26항에 있어서, 상기 양극 유로에 주입되는 유동체는 상기 양극 소재에 질량분율 2wt%의 폴리비닐피롤리돈으로 분산하고, 상기 음극 유로에 주입되는 유동체는 상기 음극 소재에 질량분율 4wt%의 폴리비닐피롤리돈으로 분산한 것을 특징으로 하는 고체 산화물 연료전지
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제26항에 있어서, 상기 양극 유로에 주입되는 유동체는 상기 양극 소재에 질량분율 2wt%의 폴리비닐피롤리돈으로 분산하고, 상기 음극 유로에 주입되는 유동체는 상기 음극 소재에 질량분율 4wt%의 폴리비닐피롤리돈으로 분산한 것을 특징으로 하는 고체 산화물 연료전지
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