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층밀리기 간섭 신호를 이용하여 광부품의 특성을 측정하는 광부품 측정 장치로서, 피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터를 통과한 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 적어도 하나의 반사면을 갖는 적어도 하나의 쐐기형 프리즘;을 구비하여 상기 반사면으로부터 반사된 광에 의한 간섭 신호를 얻도록 된 것을 특징을 하는 광부품 검사 장치
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피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘; 상기 빔스프리터에 의해 투과된 광의 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 반사면을 적어도 하나 갖는 적어도 하나의 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘;을 포함하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 적어도 하나의 쐐기형 프리즘은, 광축에 수직한 면에 대해 소정 각도로 기울어진 제1반사면을 갖는 제1 쐐기형 프리즘과, 상기 제1반사면과 다른 기울기를 갖는 제2반사면을 갖는 제2 쐐기형 프리즘을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제1 쐐기형 프리즘과 제2 쐐기형 프리즘이 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 쐐기형 프리즘 사이에 굴절율 맞춤 오일을 삽입하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 쐐기형 프리즘을 이동시켜 층밀리기 간섭 무늬가 위상 천이되도록 하기 위한 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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삭제
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제 2항에 있어서, 상기 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘과 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘에서 반사된 광에 의해 형성된 간섭 무늬를 촬영하기 위한 고체촬상소자를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 8항에 있어서, 상기 고체촬상소자에 의해 촬영된 간섭 무늬를 처리하는 이미지 처리부와 상기 이미지 처리부로부터 얻은 이미지를 이용하여 층밀리기양을 수치로 계산하는 연산처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 2항, 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 빔스프리터와 X방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘 및 Y방향 층밀리기용 쐐기형 프리즘 사이의 광경로상에 셔터를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 2항에 있어서, 층밀리기양을 측정하기 위한 핀홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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피검 부품을 통과한 광을 반사 또는 투과시키는 빔스프리터; 상기 빔스프리터를 투과한 광의 광축에 수직한 제1반사면을 가지고 광축을 따라 이동가능하게 된 제1평판; 상기 제1평판을 경유한 광을 반사시키고 광축에 대해 소정각도로 기울어진 제2반사면을 갖는 제2평판; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광의 광축에 대해 소정 각도로 기울어진 제3반사면을 갖는 제3평판;을 포함하고, 상기 제1반사면과 제2반사면에서 각각 반사된 광에 의해 형성된 간섭무늬와 상기 제1반사면과 제3반사면에서 각각 반사된 광에 의해 형성된 간섭무늬를 이용하여 피검 부품의 특성을 측정하도록 된 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 12항에 있어서, 상기 간섭 무늬를 촬영하기 위한 고체촬상소자를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 제1평판과 제2평판 사이 및 상기 3평판과 빔스프리터 사이의 광경로상에 광경로를 개폐할 수 있는 셔터를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 평판에서 상기 제1 내지 제3 반사면의 반대면은 각각 무반사 코팅된 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 평판에서 상기 제1 내지 제3 반사면의 반대면은 각각 무반사 코팅된 것을 특징으로 하는 광부품 검사 장치
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