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위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 피검체에 대해 소정 각도로 기울어지게 배치되고, 상기 광원에서 조사된 광이 통과되는 격자; 광이 격자를 통과하여 피검체에 형성된 이미지와 격자의 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치
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제 1항에 있어서, 상기 격자와 영상감지소자 사이의 광경로상에 이미징렌즈를 구비한 것을 특징으로 하는 장치
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위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 제1 격자; 상기 제1격자의 패턴과 서로 어긋나게 패턴이 배열된 제2 격자; 상기 제1격자와 제2격자를 통과하여 투영된 이미지가 합성되어 형성된 간섭무늬를 측정하는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 영상감지소자;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 간섭 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제1격자와 상기 피검체 사이 및 상기 피검체와 제2격자 사이에 각각 이미징렌즈가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치
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제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이미징렌즈가 상기 단위 영상감지소자에 대응되는 개수로 구비되어 각각의 대응되는 영상감지소자에 대향되도록 배치된 것을 특징으로 하는 장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 계단형으로 배치된 것을 특징으로 하는 장치
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제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 제1격자 또는 제2격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 배치된 것을 특징으로 하는 장치
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위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 장치에 있어서, 광원; 상기 광원으로 조사된 광이 통과되어 피검체에 이미지를 투영하도록 된 격자; 상기 격자와 피검체 사이에 배치된 제1이미징렌즈; 상기 격자에 의해 투영된 격자패턴 무늬를 측정하는 영상감지소자; 상기 피검체와 상기 영상감지소자 사이에 배치된 제2이미징렌즈;를 포함하고, 상기 피검체를 3차원 형상측정 장치에 대해 이동시키거나 3차원 형상측정 장치 전체를 피검체에 대해 이동시켜 스캐닝함으로써 위상천이된 투영 격자패턴 무늬를 얻을 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 장치
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제 9항에 있어서, 상기 영상감지소자는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 장치
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제 9항 또는 제 10항에 있어서, 상기 격자가 다수개의 단위 격자로 분리되어 배치된 것을 특징으로 하는 장치
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위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방법에 있어서, 광원과, 피검체에 이미지를 형성하는 적어도 하나 이상의 격자 및 상기 적어도 하나 이상의 격자를 경유하여 형성된 간섭 무늬를 측정하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 영상감지소자를 포함한 3차원 형상측정 장치 전체를 이동시키거나, 상기 피검체를 이동시켜 스캐닝하는 단계; 상기 3차원 형상측정 장치를 이동시키거나 피검체를 이동시킴으로써 위상천이된 간섭 무늬를 상기 영상감지소자에 의해 측정하는 단계; 상기 영상감지소자에 의해 측정된 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상에 대한 정보를 연산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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위상천이된 간섭 무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 방법에 있어서, 광원과, 피검체에 이미지를 형성하는 적어도 하나 이상의 격자 및 상기 적어도 하나 이상의 격자를 경유하여 형성된 간섭 무늬를 측정하여 피검체의 3차원 형상을 측정하는 다수개의 단위 영상감지소자의 어레이 구조로 구성된 영상감지소자를 포함한 3차원 형상측정 장치 전체를 이동시키거나, 상기 피검체를 이동시켜 스캐닝하는 단계; 상기 3차원 형상측정 장치를 이동시키거나 피검체를 이동시킴으로써 위상천이된 간섭 무늬를 상기 영상감지소자에 의해 측정하는 단계; 상기 영상감지소자에 의해 측정된 간섭무늬를 이용하여 피검체의 3차원 형상에 대한 정보를 연산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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